http://warm-ir-heater-store.com/vi/tags/axcelis/ Recent content in Axcelis on Warm IR Heater Store Hugo vi Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/vi/posts/axcelis-heater-element-spare/ Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/vi/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Phụ kiện bộ gia nhiệt của Axcelis"></p> <p>Trong quy trình in ấn bằng kỹ thuật <a href="https://goldisgood.com">lithography</a>, mô-đun nung không thể được coi là yếu tố có thể điều chỉnh được. Quá trình nung mềm giúp loại bỏ chất lỏng trong hợp chất phơi sáng; còn quá trình nung cứng thì giúp cố định cấu trúc của hợp chất phơi sáng trước khi tiến hành bước khắc. Khi linh kiện sưởi của Axcelis bị sai lệch, độ đồng đều về nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Điều này dẫn đến sự chênh lệch về độ dày của lớp phơi sáng trên bề mặt wafer, cũng như sự xuất hiện của các vết lồi ở các mép wafer. Tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn sẽ giảm sút ngay từ trước khi máy khắc bắt đầu hoạt động.</p>