Phụ kiện bộ gia nhiệt của Axcelis
Trong quy trình in ấn bằng kỹ thuật lithography, mô-đun nung không thể được coi là yếu tố có thể điều chỉnh được. Quá trình nung mềm giúp loại bỏ...
Phần tử gia nhiệt lò hấp chân không
Trên sàn fab, việc nướng photoresist không phải là một khởi động. Nó là bản lề của quá trình. Hãy để việc nướng mềm hoặc nướng cứng trôi qua 1,5°C và...