Đèn hồng ngoại chống thấm nước dùng để rửa sạch

Tue, 14 Jul 2026 12:01:26 +0800

Ngăn chặn việc vỡ đèn: Giải pháp tốt hơn để sử dụng đèn hồng ngoại trong quy trình rửa wafer
Nếu bạn đang sản xuất wafer với khối lượng lớn, chắc hẳn bạn đã từng trải qua những tình huống tồi tệ. Bạn sử dụng đèn hồng ngoại trong quy trình rửa wafer, nhưng đột nhiên chiếc đèn bị vỡ. Đó thực sự là một thảm họa: ống thạch anh bị vỡ, và các mảnh thủy tinh cùng chất hóa học lan khắp các wafer. Kết quả là toàn bộ lô sản phẩm trở thành rác thải.

Đèn làm khô nhanh bản mạch sau khi rửa

Wed, 03 Jun 2026 01:26:39 +0800

Trên sàn sản xuất, bước rửa là một rủi ro được kiểm soát. Nước còn sót lại đồng nghĩa với vi-contamination, và chu trình sấy yếu có thể buộc phải làm lại photoresist—hoặc làm giảm tỷ lệ thành phẩm ngay trước khi mẫu hình được in lên wafer. Đèn sấy nhanh wafer sau bước rửa được thiết kế để loại bỏ sự không chắc chắn đó.

Điều quan trọng bên trong thiết bị
Chúng tôi xây dựng thiết bị này dựa trên các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn (SWIR), giúp quá trình sấy diễn ra nhanh chóng và không tiếp xúc. Nhiệt truyền nhanh mà không gây trầy xước cơ học, đồng thời duy trì độ đồng đều nhiệt trên wafer ở mức ±0.1°C. Điều này rất quan trọng khi bạn cần bảo vệ ngân sách nhiệt của photoresist qua các giai đoạn soft bake và hard bake.

Rửa Sạch on Warm IR Heater Store

Đèn hồng ngoại chống thấm nước dùng để rửa sạch

Đèn làm khô nhanh bản mạch sau khi rửa