http://warm-ir-heater-store.com/zh/tags/%E8%B4%A8%E9%87%8F/ Recent content in 质量 on Warm IR Heater Store Hugo zh Thu, 25 Jun 2026 01:23:44 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/zh/posts/high-quality-wafer-heating-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:23:44 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/zh/posts/high-quality-wafer-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="高品质晶圆加热灯"></p> <p><a href="https://o-yate.com">在光刻过程</a>中，<a href="https://o-yate.net">即使只有半</a>度的温度偏差，也足以导致CD偏移，进而损坏许多优质的晶圆。因此，我们设计了专门的晶圆加热装置，从源头消除这种温度偏差——通过精确的热控机制来维持设定的温度值。</p> <p><strong>关键在于内部设计</strong><br> 我们使用石英封装的短波红外卤素灯。其升温速度很快，且能够保持稳定的状态。在照明区域内，晶圆的温差控制在±0.1°C以内，这样光阻层的温度就能按照预设条件变化，而不会受到设备本身的影响。</p>