http://warm-ir-heater-store.com/zh/tags/axcelis/ Recent content in Axcelis on Warm IR Heater Store Hugo zh Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/zh/posts/axcelis-heater-element-spare/ Tue, 30 Jun 2026 01:37:30 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/zh/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Axcelis加热元件备件"></p> <p>在光刻工艺中，烘烤模块的作用至关重要。软烘烤可以去除光刻胶中的溶剂，而硬烘烤则能在蚀刻步骤之前固定光刻胶的形态。如果Axcelis加热元件的性能出现偏差，那么温度均匀性就会受到影响。这样一来，晶圆上的CD偏差、边缘瑕疵等问题就会出现。甚至在蚀刻机开始工作之前，产品的良率就已经开始下降。</p>