Wafers erhitzen – ohne dass etwas in die Luft fliegt
Das Erhitzen von Wafers während der chemischen Reinigung ist eine delikate Angelegenheit. Es wird eine präzise Temperatur benötigt – doch das geschieht direkt neben brennbaren Lösungsmitteln. Das kann zu Problemen führen, wenn man nicht vorsichtig ist. Um Sicherheit zu gewährleisten, verwenden wir spezielle Infrarotlampen, die in solchen Umgebungen keine Entzündungen auslösen.
Die „Kein Funke“-Lösung
Die meisten Infrarotlampen haben einen offenen Heizelement – das bedeutet, dass das Heizelement frei sichtbar ist. In einer Anlage zur chemischen Reinigung kann bereits ein kleiner Funke oder eine heiße Oberfläche zu einem Brand führen. Wir vermeiden das. Stattdessen umhüllen wir alles mit einem versiegelten, explosionsgeschützten Quarzkörper. Das ist im Grunde eine Art Schutzschicht, die die elektrischen Komponenten vollständig von den chemischen Dämpfen isoliert. Wir verwenden außerdem spezielle Dichtstoffe an den Elektrodenstellen, damit keine Gase ins Gehäuse gelangen können.
Kühl halten – wo es wichtig ist
Diese Lampen nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Der Vorteil dabei ist, dass die Energie direkt in den Wafer gelangt. Dadurch wird keine Zeit damit verschwendet, die Luft oder die umliegenden chemischen Flüssigkeiten zu erwärmen. Da die Energie so gezielt eingesetzt wird, bleibt die Außenseite der Lampe unterhalb des Selbstentzündungspunkts der verwendeten Reinigungsmittel. Das ist eine viel sicherere Art, Wärme zu erzeugen.
Aber Achtung: Man muss trotzdem auf den Luftstrom achten. Wenn die Lüftungssysteme versagen und Dämpfe ansammeln, kann selbst eine versiegelte Lampe gefährlich werden, wenn die Oberfläche zu heiß wird. Deshalb verwenden wir zusätzlich einen integrierten Thermoelement, das wie ein Sicherheitsnetz wirkt und sicherstellt, dass die Lampe nicht überhitzt.
Umgang mit der Ausrüstung
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie als Ersatzteil verwendet werden können – man muss therefore seine gesamte Anlage nicht neu entwerfen. Die Leitungen werden durch feuerresistente Schläuche geführt – schließlich möchte niemand, dass Kabel während einer langen Produktionsphase zerstört werden. Da diese Lampen in einer korrosiven Umgebung arbeiten, behandeln wir die äußere Glasbeschichtung so, dass Chemikalien das Glas nicht angreifen können.
Ein kleiner Tipp: Überprüfen Sie regelmäßig das Glas. Wenn es trüb wird, nimmt die Wärmeübertragung ab. Die Lampe muss dann härter arbeiten und heißer werden, was meist zu einem vorzeitigen Versagen führt. Überprüfen Sie das Glas alle 500 Stunden, damit es weiterhin klar bleibt. Ihre Ausrüstung wird es Ihnen danken.