
Deje de permitir que el ozono dañe su equipo
Cuando se trabaja en una fábrica de semiconductores, lo último que se necesita es contaminación. Es necesario que los procesos de secado y curado ocurran de manera silenciosa, sin dejar rastro alguno en las obleas ni dañar la sala limpia.
Aquí es donde entran en juego las lámparas infrarrojas libres de ozono. La mayoría de las lámparas infrarrojas de onda corta emiten radiación en el rango de 185 nm a 254 nm. El problema es que esa radiación afecta al oxígeno del aire y genera ozono. En una fábrica, el ozono es como un “fantasma corrosivo” que deteriora gradualmente los componentes de las herramientas y los sustratos, sin que uno se dé cuenta de que existe algún problema.
La solución es bastante sencilla. Se utilizan envolturas de cuarzo especiales o filtros internos para bloquear ese tipo de radiación. Al eliminar toda la radiación por debajo de 200 nm, se elimina completamente el subproducto químico. Lo que queda es energía térmica pura.
Lo mejor de todo es que se pueden utilizar ciclos de curado de alta intensidad, sin necesidad de instalar sistemas de extracción de aire complejos y ruidosos. De esta manera, toda la sala queda más limpia.
Además, es mucho más rápido. Piense en un horno de convección: primero hay que calentar el aire, y luego el aire calienta la pieza. Es lento. Las lámparas infrarrojas funcionan de manera diferente: transfieren energía directamente al material. Son eficientes y rápidas. Además, se pueden dividir en zonas, así no se desperdicia energía calentando toda la placa cuando solo una pequeña área necesita calor.
Pero hay un problema. Las lámparas infrarrojas de alta intensidad se calientan mucho, especialmente en la parte superior de la lámpara. A pesar de que el proceso es “verde”, el equipo sigue sufriendo los efectos negativos del calor. No se puede descuidar el sistema de refrigeración. Si no se utiliza un sistema de refrigeración adecuado, las extremidades de las lámparas se sobrecalentarán y se dañarán rápidamente. Es una forma frustrante de perder una lámpara.
Al usar lámparas infrarrojas libres de ozono, la vida se vuelve más fácil. Ya no hay que preocuparse por los monitores de gases peligrosos, y se cumplen las normas de “ecologismo” y “ausencia de plomo”. Es el camino más rápido hacia un lugar de trabajo más limpio y silencioso.