گرم کردن ویفرها بدون ایجاد خطرات احتمالی
گرم کردن ویفرها در حین فرآیند تمیزکاری شیمیایی، کاری پرخطر است. نیاز به دمای دقیقی برای گرم کردن وجود دارد، اما این کار درست کنار مواد حلال قابل اشتعال انجام میشود؛ اگر مراقب نباشیم، این موضوع میتواند منجر به بروز حریق شود. برای جلوگیری از این خطرات، از لامپهای مخصوص مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این لامپها باعث اشتعال در چنین محیطهای پرخطری نمیشوند.
سیستم “بدون جرقه”
اکثر لامپهای مادون قرمز، از نوع “عنصر باز” هستند؛ یعنی سیم رسانای گرمایشی در معرض هوا قرار دارد. در محیطهای تمیزکاری شیمیایی، یک جرقه کوچک یا سطح داغ میتواند باعث بروز حریق شود. ما این کار را انجام نمیدهیم؛ در عوض، همه چیز را در یک غلاف کوارتزی ضدانفجار قرار میدهیم. این غلاف، نوعی سپر با کیفیت بالاست که اجزای الکتریکی را کاملاً از بخارات شیمیایی جدا میکند. همچنین، از مواد مخصوص برای بستن درزهای الکترودها استفاده میکنیم تا هیچ گازی نتواند وارد داخل غلاف شود.
حفظ سرمای سطح لامپ
این لامپها از تشعشعات مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنند؛ مزیت این روش این است که انرژی مستقیماً به ویفر منتقل میشود و هیچ انرژیای صرف گرم کردن هوا یا محیط اطراف ویفر نمیشود. از آنجایی که انرژی به خوبی متمرکز میشود، سطح لامپ در زیر نقطه اشتعال مواد شیمیایی باقی میماند. این روش، روشی ایمنتر برای مدیریت گرما است.
اما نکته مهم این است که همچنان باید به جریان هوا توجه کنیم؛ اگر دریچههای تهویه خراب شوند و بخارات در محیط جمع شوند، حتی لامپهای ضدانفجار نیز میتوانند خطرناک شوند. به همین دلیل، از سیستمهای ترموکوپل برای کنترل دما استفاده میکنیم؛ این سیستمها مانند یک سپر ایمنی عمل کرده و از گرم شدن بیش از حد لامپ جلوگیری میکنند.
نگهداری از تجهیزات
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی استفاده کرد؛ بنابراین نیازی نیست کل سیستم را دوباره طراحی کنید. سیمها نیز از طریق لولههای ضدحریق هدایت میشوند؛ چون هیچ کس نمیخواهد کابلها در حین تولید آسیب ببینند. از آنجایی که این لامپها در محیطهای خورنده قرار دارند، سطح شیشههای لامپها نیز محافظت میشود تا مواد شیمیایی نتوانند آنها را خراب کنند.
یک نکته مهم: مرتب سطح شیشهها را بررسی کنید؛ اگر سطح شیشه کدر شود، انتقال گرما کاهش مییابد. در این صورت، لامپ باید سختتر کار کند تا جبران کند؛ این امر معمولاً منجر به خرابی زودهنگام لامپ میشود. پس، هر ۵۰۰ ساعت یکبار سطح کوارتز را بررسی کنید تا مطمئن شوید که هنوز شفاف است. تجهیزات شما از این کار سپاسگزار خواهند بود.