در کف لیتوگرافی، حتی نیم درجه تغییر در دما در طول فرآیند پخت ملایم، میتواند باعث تغییرات در ولتاژ CD شده و منجر به خرابی تعداد زیادی از ویفرهای خوب شود. ما لامپهای گرمایشی ویفرها را طوری طراحی کردهایم که این تغییرات را در همان ابتدا مهار کنند؛ یعنی کنترل حرارتی دقیقی که دمای مورد نظر را بدون هیچ تخمینی حفظ کند.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟ ما از لامپهای هالوژنی با امواج مادون قرمز کوتاه در محفظههای کوارتزی استفاده میکنیم. سرعت گرم شدن ویفر بسیار بالاست و دمای آن در منطقه روشن شده، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. بنابراین دمای فوتورزیست نیز مطابق با دستورالعملهای تعیین شده خواهد بود، نه متأثر از ویژگیهای تجهیزات.
این سیستم با استانداردهای اتاقهای پاک از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ سازگار است؛ لوازم و مواد مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات در حداقل میزان ممکن باشد. این سیستم حتی در شرایط کار ۲۴/۷ نیز قابلیت تکرارپذیری بالایی دارد؛ همچنین دادههای مربوط به عمر سیستم نشان میدهد که خروجی آن حتی پس از ۵۰۰۰ ساعت کار نیز پایدار باقی میماند.
چرا این سیستم در فرآیند تولید عملکرد خوبی دارد؟ در فرآیندهای پخت ملایم و سخت، لامپها کنترل حرارتی را تضمین میکنند؛ این کار منجر به کنترل بهتر دمای CD، کاهش تعداد نقصها و کاهش نیاز به تعمیرات میشود.
پاسخ سریع سیستم به تغییرات حرارتی و کارایی بالای لامپهای SWIR، مصرف انرژی را کاهش میدهد؛ همچنین زمان کارکرد سیستم نیز بهبود مییابد، زیرا لامپها میتوانند برای مدت طولانی کار کنند و نیاز به تعمیرات نیز کمتر خواهد بود.
جزئیات عملی: بهترین یکنواختی را زمانی خواهید داشت که مسیر نوری با صفحه ویفر همخط شود و هندسه بازتابنده نیز با شرایط فرآیند مطابقت داشته باشد. انتظار داشته باشید که زمان لازم برای رسیدن به حالت تعادل حرارتی کوتاه باشد؛ سپس میتوانید پروفایل پخت را ارزیابی کنید.
همچنین باید به مسائل مربوط به توان مصرفی تجهیزات و سازگاری آنها با یکدیگر توجه کنید؛ ما راهنماییهای لازم برای اتصال سیمها را نیز فراهم میکنیم تا با تجهیزات موجود شما سازگار باشد.