در کف کارخانه، پخت فوتورزیست یک گرم کردن نیست. این یک لولا در فرآیند است.
اگر پخت نرم یا پخت سخت ۱.۵ درجه سانتیگراد تغییر کند، آن را در کنترل CD خواهید دید. لبههای قطرهای شروع به نفوذ میکنند. ویفرها دور ریخته میشوند. عناصر حرارتی کوره وکیوم باید گرمای پایدار و تکرارپذیر تحت وکیوم ارائه دهند—بدون اضافه کردن ذرات یا از دست دادن یکنواختی. آنچه به طور فنی روی آن تمرکز میکنیم ما عناصر حرارتی برای کورههای وکیوم در لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست طراحی میکنیم و هدف ما یکنواختی دما به ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح ویفر است. آنها از تابشدهندههای کوارتز نوری با طول موج کوتاه (NIR) با اینرسی حرارتی پایین استفاده میکنند، بنابراین کنترل شیب دقیق است و بودجه حرارتی منظم باقی میماند. ساختار با اتاق تمیز برای کلاس ۱–۱۰۰ سازگار است. مواد با گاز زدایی کم، و چرخه حرارتی ذرات تولید نمیکنند. چگالی توان با هندسه محفظه هماهنگ است تا از نقاط داغ جلوگیری شود و تکرارپذیری دما در هر بار پخت حفظ میشود. چرا این در تولید اهمیت دارد شما به پروفایل پختی نیاز دارید که بتوانید به آن اعتماد کنید، روز به روز. این عناصر پروفایل دمای کوره را تثبیت میکنند تا کنترل عرض خط ثابت بماند و پروفایلهای فوتورزیست در سراسر دستهها یکنواخت باقی بمانند. این به معنای کاهش کارهای مجدد، تولید پایدار و زمانهای چرخهای است که میتوانید برنامهریزی کنید. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا NIR ویفر و محفظه را به طور مستقیم گرم میکند، به جای اینکه گرما را به هوایی که به بیرون پمپاژ میشود، منتقل کند. فواصل تعویض نیز افزایش مییابد—طراحی عنصر در برابر تخریب نقاط داغ مقاومت میکند، بنابراین مصرف قطعات یدکی کاهش مییابد. چند نکته عملی عناصر به گونهای مهندسی شدهاند که با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمهرسانا مطابقت دارند و به عنوان جایگزینهای معادل تأیید شدهاند. نصب باید با ولتاژ کوره، رابط اتصال و فضاهای نصب مطابقت داشته باشد. اگر اتصالات همتراز نشوند، حرارت یکنواخت نخواهد بود. برنامهریزی یک چرخه پخت و حالتدهی وکیوم پس از نصب ضروری است. این کار رطوبت باقیمانده را دفع کرده و تکرارپذیری پایه را تثبیت میکند.