خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS بدون مشکلات احتمالی
خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS کاری نیازمند تعادل خاصی است. لازم است که آب از روی ویفرها حذف شود، اما اگر از حرارت برای این منظور استفاده کنیم، خطر پژمردگی ویفرها یا آلوده شدن کل محموله وجود دارد.
راز موفقیت در این کار، اطمینان از این است که حرارت دقیقاً به جای مناسب خود برسد. اکثر دستگاهها، انرژی زیادی را صرف گرم کردن بدنه فلزی خود میکنند. ما این مشکل را با استفاده از گرمکنهای مادون قرمز و بازتابندههای پوشیده شده با طلا، برطرف کردهایم.
چرا طلا؟
آلومینیوم ماده استاندارد است، اما عملکرد خوبی ندارد؛ زیرا انرژی مادون قرمز را به میزان زیادی جذب میکند. اما طلا متفاوت است؛ در طیف مادون قرمز، طلا بیش از ۹۸٪ از انرژی را بازتاب میدهد.
بدین ترتیب، در عوض وجود گرمای نامنظم در اطراف دستگاه، لایه طلا انرژی را مستقیماً به سمت ویفرها هدایت میکند. این مانند استفاده از لنز بزرگنمایی به جای لامپ است؛ در نتیجه، حرارت مورد نیاز دقیقاً در جای مناسب تأمین میشود، بدون نیاز به افزایش توان لامپها.
نکته مهم: حرارت و توان
هنگام انتخاب این گرمکنها، باید توان و سطح مورد نیاز را به درستی انتخاب کرد. لامپهای با توان بالا برای افزایش سرعت کار بسیار خوب هستند، اما باعث ایجاد گرمای زیادی میشوند. اگر سیستم خنککننده دستگاه نتواند گرمای ایجاد شده را کنترل کند، مشکلاتی مانند پژمردگی ویفرها یا آلوده شدن سنسورها پیش خواهد آمد. به همین دلیل، ما زمان زیادی را صرف تنظیم نقطه تمرکز حرارت میکنیم؛ تا حرارت دقیقاً روی سطح ویفرها تأثیر بگذارد.
حفظ عملکرد دستگاه
این گرمکنها به گونهای طراحی شدهاند که به عنوان جایگزین سادهای برای ماتریسهای مادون قرمز استفاده شوند. ما توجه زیادی به فاصله بین منبع حرارت و بازتابنده داشتهایم؛ زیرا در همین ناحیه، «نواحی بیاثر» وجود دارد؛ یعنی نقاطی که در آنها حرارت تجمع کرده و هیچ تأثیری ندارد.
یک نکته مهم: طلا مادهای نرم است؛ بنابراین نمیتوان از آن برای تمیز کردن سطوح با استفاده از مواد خشن استفاده کرد. اگر از مواد تمیزکننده خشن استفاده کنید، سطح طلا خراشیده خواهد شد؛ در نتیجه، کارایی دستگاه کاهش یافته و هزینههای انرژی نیز افزایش خواهد یافت. بهتر است از مواد تمیزکننده مخصوص استفاده کنید تا مشکلی پیش نیاید.