Chauffer les wafer sans risquer d’explosion
Chauffer les wafer lors d’un nettoyage chimique est une opération délicate. Il faut une chaleur précise, mais cela se fait juste à côté de solvants inflammables. C’est une situation dangereuse si l’on n’est pas prudent. Pour garantir la sécurité, nous utilisons des lampes infrarouges spécialisées, qui ne provoquent pas d’incendie dans ce type d’environnement tendu.
Un système sans étincelles
La plupart des lampes infrarouges sont de type « élément ouvert », ce qui signifie que le fil chauffant est exposé directement. Dans une cellule de nettoyage chimique, une petite étincelle ou une surface trop chaude peut déclencher un incendie. Nous évitons cela en enveloppant tout dans un boîtier en quartz étanche et résistant aux explosions. Il s’agit en fait d’un bouclier qui isole complètement les composants électriques des vapeurs chimiques. Nous utilisons également des joints spéciaux aux points de connexion des électrodes, afin que aucun gaz ne puisse pénétrer à l’intérieur du boîtier.
Maintenir une température contrôlée
Ces lampes utilisent des rayons infrarouges à courte longueur d’onde. L’avantage est que l’énergie est transmise directement au wafer. Ainsi, il n’y a pas de perte d’énergie pour chauffer l’air ou le bain chimique environnant. Comme l’énergie est très concentrée, la surface extérieure de la lampe reste en dessous du point d’inflammation des agents de nettoyage utilisés. C’est donc une manière beaucoup plus sûre de gérer la chaleur.
Faut-il quand même faire attention ?
Il faut quand même surveiller le flux d’air. Si les évents ne fonctionnent pas et que des vapeurs se accumulent, même une lampe étanche peut devenir dangereuse si sa surface devient trop chaude. C’est pourquoi nous accompagnons ces lampes d’un thermocouple intégré. Celui-ci agit comme une sécurité pour éviter que les choses ne surchauffent.
Entretien de l’équipement
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être remplacées facilement, sans avoir besoin de redessiner toute la ligne de production. Les câbles sont placés dans des gaines ignifuges, car personne ne veut que les câbles brûlent pendant une longue période de production. Comme ces lampes se trouvent dans un environnement corrosif, nous traitons la surface extérieure du verre pour empêcher les produits chimiques de le détériorer.
Un conseil rapide : surveillez constamment le verre. Si celui-ci devient trouble, la transmission de chaleur diminue. La lampe doit alors travailler davantage et à une température plus élevée pour compenser, ce qui entraîne généralement un dysfonctionnement prématuré. Vérifiez simplement le verre tous les 500 heures pour vous assurer qu’il reste clair. Votre équipement vous en sera reconnaissant.