Cessez de gaspiller votre énergie : pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment importants
Dans le domaine du traitement des wafer en semi-conducteurs, gaspiller de l’énergie est simplement un mauvais choix en termes de conception. Point final.
Lorsque l’on utilise des lampes infrarouges à haute puissance, une grande partie de cette énergie précieuse s’échappe simplement. Elle ne touche pas sa cible ; elle disparaît simplement dans les mécanismes de la machine. Nous résolvons ce problème en intégrant des réflecteurs revêtus d’or directement dans la structure du chauffage.
Pourquoi l’or ?
L’aluminium est le matériau standard : il est bon marché et disponible partout. Mais il a du mal à refléter les longueurs d’onde infrarouges. L’or, en revanche, est extrêmement efficace pour renvoyer ces rayonnements là où ils doivent aller. En revêtant la structure en acier inoxydable d’or, nous obtenons un taux de réflexion de 98-99 %. Au lieu que le châssis absorbe la chaleur, les photons sont renvoyés directement sur la surface du wafer. Ainsi, le wafer devient plus chaud, sans avoir besoin d’augmenter la tension électrique ou de surcharger le système.
Le processus de fabrication
Nous utilisons de l’acier inoxydable de haute qualité pour les structures, car tout autre matériau se déformerait sous de telles charges thermiques. Pour appliquer l’or, nous utilisons la technique de dépôt sous vide. C’est le seul moyen d’assurer que le revêtement ne s’écaille pas lorsque la température change.
Mais il faut être prudent avec la géométrie des structures. Si le point focal est trop proche, des points chauds apparaîtront dès que la lampe est légèrement décentrée. C’est pourquoi nous accordons une grande importance aux tolérances de fabrication. Cela permet de maintenir un faisceau lumineux stable et uniforme sur toute la surface du wafer.
Les compromis réels
L’or n’est pas bon marché. Le coût des matériaux sera bien plus élevé par rapport à l’aluminium poli. Mais on peut compenser cela en réduisant la consommation d’énergie et en accélérant le temps de préchauffage. C’est donc un investissement dans l’efficacité.
Un conseil pour l’entretien : l’or est un matériau tendre. Si vos techniciens utilisent des chiffons abrasifs pour nettoyer les structures, ils endommageront le revêtement et annuleront ainsi son effet de réflexion. Préférez plutôt des chiffons imbibés de solvants appropriés.
Et un dernier conseil : assurez-vous que votre système de refroidissement fonctionne correctement. Sinon, la structure se surchauffera, le profil thermique changera, et vous obtiendrez des wafer qui ne seront pas uniformes. Et personne ne veut ça.