Arrêtez de laisser l’ozone endommager vos équipements
Lorsque vous travaillez dans une usine de semi-conducteurs, la dernière chose dont vous avez besoin, c’est de la contamination. Il est essentiel que les processus de séchage et de durcissement se déroulent sans laisser de trace sur les wafers ni perturber l’environnement propre de l’usine.
C’est là que les lampes infrarouges sans ozone entrent en jeu.
La plupart des lampes infrarouges à ondes courtes émettent des rayonnements dans la plage de 185 nm à 254 nm. Le problème ? Ces rayonnements interagissent avec l’oxygène présent dans l’air, ce qui entraîne la formation d’ozone. Dans une usine de semi-conducteurs, l’ozone est en réalité un agent corrosif qui endommage progressivement les composants des outils et les substrats, avant même que l’on ne s’aperçoive du problème.
La solution est en fait assez simple.
Nous utilisons des enveloppes en quartz ou des filtres internes pour bloquer ces rayonnements UV. En éliminant tout ce qui se trouve en dessous de 200 nm, nous éliminons complètement ces produits chimiques indésirables. Il ne reste alors que de l’énergie thermique pure.
Le meilleur côté ? Vous pouvez utiliser des cycles de durcissement à haute intensité, sans avoir à installer de systèmes de ventilation complexes pour purifier l’air. Cela permet à toute la pièce de rester plus propre.
C’est aussi beaucoup plus rapide.
Pensez à un four à convection : il faut d’abord chauffer l’air, puis c’est l’air qui chauffe le matériau. C’est lent. Avec les lampes infrarouges, l’énergie est transférée directement au matériau. C’est donc plus efficace. Les temps de préchauffage diminuent, et les cycles deviennent plus courts. De plus, nous pouvons diviser ces systèmes en zones, afin de ne pas gaspiller d’énergie en chauffant toute la surface du matériau, alors qu’un seul point nécessite de la chaleur.
Mais il y a un inconvénient.
Les lampes infrarouges à haute intensité deviennent très chaudes – vraiment très chaudes, surtout à leur extrémité. Même si le processus est écologique, les équipements subissent quand même des contraintes importantes.
Vous ne pouvez pas vous permettre de négliger les ventilateurs de refroidissement ou les systèmes de refroidissement par eau. Si vous sous-estimez les besoins en termes de refroidissement, les extrémités des lampes vont surchauffer et se détériorer prématurément. C’est une façon frustrante de perdre des lampes.
En passant à des lampes infrarouges sans ozone, la vie devient plus simple. Vous n’avez plus à vous soucier des capteurs de gaz dangereux, et vous pouvez respecter les exigences liées à l’écologie et à l’absence de plomb, sans aucun effort. C’est le chemin le plus court vers une usine plus propre et plus silencieuse.