שמירה על ניקיון מלא של מערכות החימום באמצעות אור אינפרא-אדום
אם אתם משתמשים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם כבר יודעים איזו בעיה יכולה להתעורר: גרגיר אבק קטן או אדי כימיקלים עלולים להרוס את כל המוצר שאתם מייצרים.
בנושא חימום של חומרים חצי-מוליכים, רוב האנשים מתמקדים בנורות אינפרא-אדום עשויות קוורץ ברמת טוהר גבוהה. וזה אכן חשוב. אך הבעיה האמיתית נמצאת בחוטי החשמל שמזינים את הפילמנט של הנורה.
הגורם הנסתר: הבידוד של החוטים
חוטי PVC או סיליקון רגילים לא יכולים לעמוד בחום של נורת אינפרא-אדום. עם הזמן, הבידוד שלהם נהרס, ואז נוצרות חלקיקים זעירים שעלולים לפגוע בחומרים החצי-מוליכים.
במפעלי ייצור חומרים חצי-מוליכים, חלקיקים אלו לא נעלמים – הם נופלים על הוואפר שלכם. וזה פוגע באיכות המוצר.
אנו פתרנו את הבעיה הזו על ידי שימוש בחוטים מבודדים ב-Teflon (PTFE). חומר זה אינו רגיש כימית ונשאר יציב גם בטמפרטורות גבוהות. הוא אינו פולט גזים, ולא נמס או נוטף כשהנורה פועלת בעוצמה מרבית. כשמשתמשים ב-PTFE יחד עם קוורץ ברמת טוהר גבוהה, ניתן למנוע את הגורמים העיקריים לזיהום.
המציאות של החום
אנו משתמשים במעטפת SiO2 ברמת טוהר גבוהה עבור הנורות, כדי לשמור על עקביות בפלט האור. זה מונע את ההצהבה שנגרמת על ידי זכוכית זולה. בלעדיו, אורך הגל של האור האינפרא-אדום משתנה, וכתוצאה מכך החימום של החומרים החצי-מוליכים אינו אחיד.
אך יש להיות זהירים בנוגע למיקום החוטים. למרות ש-PTFE עמיד בפני חום, עדיין יש לו גבול. אם החוטים נמצאים קרוב מדי למעטפת הקוורץ, ללא מגן חום, זה עלול לגרום לבעיות. אנו ממליצים להשאיר מרווח מסוים בין החוטים, כדי שהטמפרטורה שלהם תישאר תחת 260°C.
הפעלה יעילה של המערכת
המערכות האלו נוצרו כתחליף פשוט למערכות החימום הקיימות. אין צורך בהתאמות מיוחדות.
אנו גם משתמשים בחיבורים מצופים זהב או ניקל. למה? כי חמצון בנקודות החיבור יכול לגרום לבעיות. על ידי שמירה על ניקיון החיבורים, אנו מוודאים שהזרם יזרום באופן עקבי, וכך נמנעים מהיווצרות של קשתות חשמליות. כפי שכבר אמרנו, הדבר האחרון שרוצים בחדר נקי הוא חלקיקים מתכתיים באוויר.