Menghangatkan Wafer Tanpa Menimbulkan Kebakaran
Menghangatkan wafer selama proses pembersihan kimia merupakan hal yang membutuhkan kehati-hatian ekstra. Diperlukan suhu yang tepat, tetapi hal ini dilakukan di dekat zat-zat pelarut yang mudah terbakar. Jika tidak hati-hati, hal ini bisa berujung pada kebakaran. Untuk menjaga keselamatan, kami menggunakan lampu inframerah khusus yang tidak akan menyebabkan penyalaan api di lingkungan yang berbahaya tersebut.
Sistem yang Bebas dari percikan api
Sebagian besar lampu inframerah memiliki filamen yang terbuka, sehingga energi panasnya langsung masuk ke dalam wafer. Di lingkungan pembersihan kimia, sedikit saja percikan api atau permukaan yang panas sudah cukup untuk memicu kebakaran. Kami menghindari hal ini dengan membungkus seluruh komponen lampu dalam lapisan kuarsa yang tahan ledakan. Lapisan ini berfungsi sebagai pelindung yang efektif agar bagian elektrik tetap terisolasi dari uap kimia. Kami juga menggunakan bahan perekat khusus di titik sambungan elektroda, agar udara tidak dapat masuk ke dalam lampu.
Mengontrol suhu secara efektif
Lampu-lampu ini menggunakan radiasi inframerah berfrekuensi rendah. Keuntungannya adalah energi panas langsung sampai ke wafer, tanpa membuang waktu untuk memanaskan udara atau cairan kimia di sekitarnya. Karena energinya sangat terfokus, permukaan luar lampu tetap berada di bawah titik pembakaran zat kimia yang digunakan. Dengan demikian, proses pemanasan menjadi lebih aman.
Namun, Anda tetap perlu memperhatikan aliran udara. Jika saluran ventilasi gagal berfungsi dan uap kimia menumpuk, bahkan lampu yang tertutup sekalipun bisa berisiko terbakar jika permukaannya terlalu panas. Itulah mengapa kami menggunakan termokopel untuk memastikan suhu lampu tetap terkendali.
Perawatan peralatan
Kami merancang lampu-lampu ini agar dapat digunakan sebagai pengganti peralatan lama, sehingga Anda tidak perlu merancang ulang seluruh sistem produksi Anda. Kabel-kabelnya dipasang melalui saluran yang tahan api, agar kabel tidak rusak selama proses produksi. Karena lampu-lampu ini berada di lingkungan yang korosif, kami memastikan permukaan kaca dilapisi bahan khusus agar zat kimia tidak merusak kaca tersebut.
Tips singkat: periksa kondisi kaca secara rutin setiap 500 jam, agar tetap jernih. Dengan begitu, peralatan Anda akan tetap berfungsi dengan baik.