Mengapa kami menggunakan metode pengeringan inframerah untuk standar semikonduktor bebas timbal
Ketika orang berbicara tentang “pendekatan yang ramah lingkungan” atau “semikonduktor bebas timbal” dalam desain alat pemrosesan wafer, mereka biasanya fokus pada bahan kimia yang digunakan. Namun sebenarnya, hal yang lebih penting adalah cara kita memanaskan permukaan wafer tersebut.
Itulah mengapa kami menggunakan metode pengeringan inframerah. Alih-alih memanaskan seluruh ruang alat tersebut, kami hanya memanaskan permukaan wafer saja.
Memastikan panas sampai ke tempat yang tepat
Bayangkan oven konvensional biasa. Oven tersebut membutuhkan waktu yang sangat lama untuk memanaskan udara di dalamnya. Itu merupakan pemborosan energi.
Inframerah berbeda. Inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk membuat molekul-molekul dalam bahan perekat atau fotoresist bergerak. Hasilnya? Wafer akan mencapai suhu yang tepat dalam hitungan detik. Dengan demikian, kita tidak perlu berjuang melawan sistem pemanasan yang kompleks, dan itulah alasan mengapa inframerah menjadi pilihan utama untuk menghemat energi di ruang bersih.
Menjaga suhu tetap optimal
Polimer dan solder bebas timbal sangat sensitif terhadap perubahan suhu. Jika suhu terlalu tinggi, wafer bisa rusak atau mengalami kerusakan permanen. Untuk mencegah hal ini, kami memasang sensor presisi di dalam alat tersebut agar dapat memantau suhu secara real-time.
Karena kami menggunakan gelombang inframerah pendek, kami dapat meningkatkan atau mengurangi suhu secara cepat. Tingkat kontrol ini tidak dapat dicapai dengan metode pemanasan konvensional yang lambat, karena metode tersebut cenderung merusak bahan kimia yang digunakan.
Kompromi yang harus diterima
Inframerah memang cepat. Namun kecepatan ini memiliki kelemahan. Kepadatan panasnya sangat tinggi. Jika sensor berada di posisi yang salah atau sistem PID tidak disetel dengan baik, maka akan terjadi titik-titik panas di permukaan wafer. Selain itu, sistem pendinginan juga perlu mampu mengikuti siklus pemanasan yang cepat tersebut, jika tidak, sensor akan rusak.
Kami menemukan bahwa kombinasi antara penyebar inframerah dan sensor frekuensi tinggi merupakan solusi yang efektif. Dengan cara ini, suhu dapat dikontrol dengan baik tanpa perlu menggunakan bahan pemanas beracun.