壊れたランプが生産効率を低下させるのを防ごう
高負荷のファブでは、壊れた赤外線ランプは単なる厄介者に過ぎません。それはまさに悪夢です。
石英管が壊れると、単に割れるだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハに直接飛び散ります。一度壊れると、一回分の製品が廃棄処分になってしまいます。これは本当に辛い状況です。
なぜ壊れるのか？
通常は熱ショックが原因です。温度を急激に上げたり下げたりすると、局所的に高温になり、その結果、管が割れてしまいます。
私たちは高純度の合成石英を使用してこの問題に対処しています。これにより、急激な温度変化にも耐えられます。また、管の壁の厚みにもこだわっています。熱が通過する一方で、圧力に耐えられる強度も必要です。
故障を防ぐための対策
たとえ高品質の石英を使っていても、何か問題が起こる可能性があります。そこで、安全装置を追加しました。
エミッターを化学物質と反応しない高温用のカバーで包みます。これはまるでボディーガードのようなものです。もしランプが故障したり爆発したりしても、そのカバーが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハが汚染されることはありません。
さらに、コネクタも強化し、電気アークを防ぎました。その小さな火花は金属微粒子を生成し、それがファブにとって致命的です。接触点の公差を厳しく管理することで、火花を完全に防ぎます。
妥協点
物理的な障壁を設けると、完全な熱源は得られません。赤外線の透過率がわずかに低下します。これは大きな問題ではありませんが、目標の温度を達成するためには、出力を上げたり、ランプをウェーハにもう少し近づけたりする必要があるかもしれません。
もう一点、カバーによって熱が閉じ込められるため、冷却ファンが余分な負荷に耐えられるかを確認してください。ウェーハが安全であっても、筐体が過熱してはいけません。