MEMSセンサウェーハ乾燥ヒーター

MEMSウェーハを問題なく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスをうまく取る必要があります。水を素早く除去する必要はありますが、単純に熱をかけすぎると、ウェーハが歪んだり、全体が汚染されたりする危険があります。 鍵となるのは、熱が正しい場所に届くようにすることです。多...