석영 케이스 안에 장착된 단파 적외선 할로겐 램프를 사용함으로써, 빠른 가열이 가능하며 안정된 상태를 유지할 수 있습니다. 웨이퍼 전체의 온도는 조명되는 영역 내에서 ±0.1°C 이내로 일정하게 유지되므로, 포토레지스트의 온도도 사전 설정된 값대로 유지됩니다.
이 시스템은 클래스 1부터 클래스 100까지의 청정실 환경에 적합하며, 입자 발생을 최소화하기 위해 적절한 부품과 재료가 사용됩니다. 24/7 연속 가동 중에도 일관된 성능을 유지할 수 있으며, 5,000시간 이상 작동해도 안정적인 스펙트럼 출력이 나타납니다.
생산 과정에서의 장점 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 램프는 용매 제거, 유리 전이, 에칭 선택성 등을 결정하는 열 조건을 정확하게 제어합니다. 그 결과, CD 정밀도가 향상되고 결함률이 줄어들며 재작업 필요성도 감소합니다.
빠른 열 반응 속도와 효율적인 단파 적외선 전달 덕분에 에너지 사용량이 줄어들고, 예측 가능한 유지보수 주기 덕분에 가동 시간도 증가합니다.
실용적인 세부 사항 광학 경로가 웨이퍼 평면과 정렬되고 반사기의 형태가 공정 조건에 맞을 때 가장 우수한 균일성을 얻을 수 있습니다. 베이크 프로파일을 확립하기 전에는 짧은 시간 동안 가열 및 예열 과정을 거쳐야 합니다.
또한, 기존 설비와의 호환성도 고려해야 합니다. 저희는 고객의 설비에 맞는 배선 방식을 제공해 드립니다.