웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

웨이퍼를 가열할 때 열이 챔버 벽에 낭비되는 것을 막으세요 웨이퍼를 가열할 때는 그 에너지가 직접 웨이퍼에 전달되어야 합니다. 열이 여기저기 흩어져 챔버 벽에 흡수되는 것은 바람직하지 않습니다. 문제는 일반적인 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출한다는 점입니다....