장비가 오븐처럼 변하는 것을 막으세요. IR 램프의 문제점은 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 칩이 작은 경우에는 이는 큰 문제가 됩니다. 반사판이 없으면 에너지의 절반 정도가 장비의 내부 벽에 부딪혀 버립니다. 이는 낭비일 뿐만 아니라, 장비의 외부가...

스파크를 막아라: 화학 처리 공정에서 세라믹 캡이 왜 중요한가? 만약 화학 세척 공정에서 적외선 발생 장치를 사용하고 있다면, 그로 인한 문제점들을 잘 알고 있을 것입니다. 주변에는 불연성 가스들이 날아다니고, 부식성 물질들도 있어서 모든 것을 파괴할 수 있습니다....

왜 웨이퍼 제조 공정에서 적외선 경화 방식으로 전환하는가? 솔직히 말해서, 기존의 대류식 오븐들은 형편없습니다. 속도가 느리고, 유해한 화학물질을 사용해야 하며, 결국은 공기를 가열하는 것에 불과합니다. 우리는 그런 방식을 버리고 적외선 경화 방식을 사용하고 있습니다...