장비가 오븐처럼 변하는 것을 막으세요.
IR 램프의 문제점은 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 칩이 작은 경우에는 이는 큰 문제가 됩니다. 반사판이 없으면 에너지의 절반 정도가 장비의 내부 벽에 부딪혀 버립니다. 이는 낭비일 뿐만 아니라, 장비의 외부가 너무 뜨거워져서 작업자들이 다칠 수도 있고, 부품들도 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해 정밀한 알루미늄 반사판을 사용합니다. 이를 통해 열을 원하는 곳으로만 보낼 수 있습니다.
실제 작동 원리
적외선 파동을 작업물 쪽으로 다시 반사시키는 것으로 생각하면 됩니다. 단파 및 중파 적외선을 잘 반사하기 때문에 고순도 알루미늄을 사용합니다. 반사판을 포물선이나 타원형으로 만들면, 흩어지는 열을 집중된 광선으로 바꿀 수 있습니다. 그러면 “낭비되는 열”이 장비의 프레임에 스며드는 것을 막을 수 있습니다.
왜 이 방법이 유용한가?
반사판을 사용하면 장비 내부의 온도가 낮아집니다. 그래서 냉각팬도 하루 종일 최대 성능으로 작동할 필요가 없습니다. 또한, 도구의 외부 표면 온도도 사람들이 불편해할 정도로 높아지지 않습니다. 웨이퍼나 기판에는 더 높은 열 밀도가 전달되지만, 장비 자체는 마치 사우나처럼 뜨거워지지 않습니다.
현실적인 단점들
물론 반사판도 마법의 지팡이는 아닙니다. 반사판을 사용하면 램프의 크기가 커집니다. 따라서 반사판을 제대로 고정시키기 위해 장착 브라켓을 조정해야 할 수도 있습니다. 또한 알루미늄도 완전히 내구성이 좋은 것은 아닙니다. 산화되거나 표면에 먼지가 쌓일 수 있습니다. 그렇게 되면 효율성이 떨어지고 열이 다시 장비 안으로 스며들게 됩니다. 제대로 작동하도록 하려면 반사판을 깨끗하게 유지해야 합니다.
또한, 반사판이 긴 시간 동안 강한 힘을 받아도 변형되지 않도록 적절한 열 차단재를 사용해야 합니다.