파편 발생을 막아보세요: 세척 과정에서 IR 램프를 보다 효과적으로 사용하는 방법
대량의 웨이퍼를 생산하는 경우라면, 이러한 악몽 같은 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 세척 단계에서 IR 가열이 이루어지는데, 갑자기 램프가 고장 나버리는 것입니다.
그건 재앙입니다. 석영관이 파열되면, 웨이퍼 위에 유리 조각들과 화학 물질들이 흩어집니다. 그러면 전체 제품이 폐기되는 셈입니다.
우리는 이러한 위험을 견디지 못해 더 이상 그런 구조의 램프를 사용하지 않게 되었습니다. 대신, 방수 처리된 구조의 램프를 사용하고 있습니다.
램프가 고장나는 이유
사실, 일반적인 IR 램프는 세척 환경에 적합하게 설계되어 있지 않습니다. 보통 습기가 밀폐된 부분으로 들어가거나 열충격으로 인해 고장이 납니다.
생각해보세요. 600°C의 고온에 있는 석영관에 물방울 하나만 떨어져도 엄청난 응력이 발생하여 램프가 파열됩니다.
이 문제를 해결하기 위해, 우리는 고순도 석영관을 내부에 넣고, 화학물질에 강한 소재로 만든 방수 커버로 둘러싸는 방식을 사용했습니다. 이렇게 하면 물이 뜨거운 석영관에 닿지 않아 램프가 파열되지 않습니다.
안전을 보장하는 방법
우리는 램프의 안전성에 집중했습니다. 강화된 엔드캡과 특수한 밀폐 구조를 사용하여 가열 요소가 외부와 완전히 분리되도록 했습니다.
이렇게 하면 전력을 높여도 오일 누출로 인한 문제가 발생하지 않습니다.
한 가지 팁을 드리자면, 전원 공급 장치를 반드시 확인해야 합니다. 전압과 와트수가 램프에 맞는지 꼭 확인하세요. 과도한 전력을 공급하면 내부 압력이 증가하여 방수 밀폐 구조가 손상될 수 있습니다.
실제 사용 방법
가장 좋은 점은, 이 램프는 기존 램프를 그대로 대체할 수 있다는 것입니다. 복잡한 보호 장치를 사용할 필요가 없습니다. 가열원이 밀폐되어 있으므로, 유리 조각들이 웨이퍼 위로 떨어지는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
단, 냉각에 대해서는 주의해야 합니다. 외부 커버 때문에 열이 조금 더 축적될 수 있으므로, 냉각팬이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다.
이렇게 하면 많은 문제를 해결할 수 있습니다.