Memanaskan Wafer Tanpa Mengakibatkan Letupan
Memanaskan wafer semasa proses pembersihan kimia merupakan tugas yang memerlukan ketelitian yang tinggi. Anda perlu menggunakan suhu yang tepat, namun proses ini dilakukan berdekatan dengan bahan-bahan mudah terbakar. Jika tidak berhati-hati, ia boleh menyebabkan kebakaran. Untuk memastikan keselamatan, kami menggunakan lampu inframerah khusus yang tidak akan mencetuskan api di persekitaran seperti itu.
Sistem “Tanpa Percikan Api”
Kebanyakan lampu inframerah adalah jenis “open-element”, yang bermaksud filamen pemanasnya berada di luar penutup lampu. Dalam ruang pembersihan kimia, sedikit percikan api atau permukaan yang panas pun boleh mencetuskan kebakaran. Kami mengelak perkara ini dengan membungkus semua komponen lampu dalam penutup kaca yang tahan letupan. Ini merupakan pelindung yang sangat baik yang menghalang elektrik daripada bersentuhan dengan wap kimia. Kami juga menggunakan bahan pengedap khas pada titik sambungan elektrod agar tiada gas yang dapat masuk ke dalam lampu.
Menjaga Suhu yang Stabil
Lampu-lampu ini menggunakan radiasi inframerah gelombang pendek. Kelebihannya ialah tenaga tersebut disalurkan secara langsung ke wafer, tanpa membuang masa untuk memanaskan udara atau cecair di sekelilingnya. Oleh kerana tenaganya sangat terfokus, suhu permukaan luar lampu tetap di bawah titik api bahan kimia yang digunakan. Ini merupakan cara yang lebih selamat untuk mengendalikan haba.
Namun, anda masih perlu memperhatikan aliran udara. Jika saluran udara gagal berfungsi dan wap kimia mula terkumpul, lampu yang sudah tertutup pun boleh menjadi berbahaya jika permukaannya menjadi terlalu panas. Itulah sebabnya kami menyertakan termokopel bersama lampu ini. Ia berfungsi sebagai pengaman untuk memastikan suhu lampu tidak melebihi had yang ditetapkan.
Penjagaan Peralatan
Kami merancang lampu-lampu ini agar boleh diganti secara langsung, jadi anda tidak perlu merancang semula seluruh sistem pengeluaran. Kabel-kabel lampu dipasang melalui saluran yang tahan api—kerana tiada siapa yang mahu Kabel terbakar semasa proses pengeluaran yang berpanjangan.
Oleh kerana lampu-lampu ini berada dalam persekitaran yang korosif, kami melindungi bahagian luar lampu agar bahan kimia tidak merosakkan kacanya.
Satu tip penting: periksa kaca lampu setiap 500 jam. Jika kacanya menjadi keruh, proses pemindahan haba akan terjejas. Lampu perlu bekerja lebih keras untuk mengimbangi hal ini, yang akhirnya boleh menyebabkan lampu rosak lebih cepat. Pastikan kaca lampu masih jernih untuk melindungi peralatan anda.