Pada permukaan silikon tersebut, perubahan sudut sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan yang lembut sudah cukup untuk mengubah nilai CD bias, dan ini akan merosakkan banyak wafer yang berkualiti tinggi. Kami telah mencipta lampu pemanas khusus untuk mengelakkan perubahan tersebut sejak awal – sistem kawalan suhu yang memastikan suhu tetap stabil tanpa perlu membuat anggaran semula.
Apa yang penting di belakang tabir Kami menggunakan lampu halogen inframerah gelombang pendek (SWIR) yang berada dalam bekas kuarsa. Proses pemanasan berlaku dengan cepat, dan suhu tetap stabil. Kekonsistenan suhu pada permukaan wafer berada dalam lingkungan ±0.1°C di seluruh kawasan yang diterangi cahaya lampu. Dengan cara ini, suhu bahan fotorezist akan tetap sesuai dengan spesifikasi yang ditetapkan, bukan disebabkan oleh faktor alat yang digunakan.
Sistem ini sesuai digunakan di bilik bersih dari kelas 1 hingga kelas 100. Bahan-bahan dan komponen yang digunakan dipilih agar penghasilan zarah-zarah kecil dapat diminimumkan. Kekonsistenan hasil pengeluaran dapat dikekalkan walaupun sistem beroperasi 24/7. Data prestasi menunjukkan bahawa output spektral tetap stabil walaupun sistem telah beroperasi lebih dari 5,000 jam.
Mengapa sistem ini berfungsi dengan baik dalam proses pengeluaran Dalam proses pemanasan yang lembut atau keras, lampu tersebut memastikan pengawalan suhu yang tepat, sehingga proses penghapusan pelarut, perubahan struktur kaca, dan proses pengikisan berlangsung dengan lebih efektif. Ini menyebabkan kawalan nilai CD menjadi lebih baik, kepekatan kecacatan berkurangan, dan jumlah wafer yang perlu diperbaiki juga berkurangan.
Tindak balas termal yang cepat serta cara penyambungan lampu SWIR yang efisien membantu mengurangkan penggunaan tenaga. Masa operasi sistem juga meningkat kerana lampu dapat beroperasi dalam jangka masa yang lama dengan penyelenggaraan yang mudah.
Butiran praktikal Kekonsistenan terbaik dapat dicapai apabila laluan cahaya sejajar dengan permukaan wafer, dan geometri reflektor sesuai dengan keperluan proses. Proses penstabilan suhu memerlukan sedikit masa sebelum profil pemanasan dapat dinilai dengan tepat.
Anda perlu merancang kapasiti kuasa yang diperlukan oleh alat tersebut, serta keserasian antara komponen-komponennya. Kami menyediakan panduan penghubungan kabel untuk memastikan ia sesuai dengan sistem yang sudah ada pada platform anda.