Het opwarmen van waferbladen zonder dat er iets ontploft
Het opwarmen van waferbladen tijdens een chemische reiniging is een gevaarlijke opgave. Je hebt precieze temperatuurcontrole nodig, maar je doet dit vlak naast brandbare oplosmiddelen. Dat kan leiden tot problemen als je niet voorzichtig bent. Om veilig te werken, gebruiken we gespecialiseerde infrarode lampen die geen brand kunnen veroorzaken in zulke omstandigheden.
De ‘sparksvrije’ oplossing
De meeste infrarode lampen hebben een ‘open element’, oftewel de verhittingsspiraal zit rechtstreeks bloot. In een cel voor chemische reiniging kan één kleine vonk of een hete oppervlakte al voldoende zijn om een brand te veroorzaken. Wij voorkomen dit door alles in een afgesloten, explosievrij kwartsomhulsel te plaatsen. Dit omhulsel beschermt de elektrische onderdelen tegen de chemische dampen. We gebruiken zelfs speciale sealanten op de verbindingen tussen de elektroden, zodat geen gassen naar binnen kunnen dringen.
Het koelen van de lampen
Deze lampen gebruiken kortegolflengte-infraroodstraling. Het voordeel hiervan is dat de energie rechtstreeks in het waferblad terechtkomt. Er wordt geen energie verspild aan het opwarmen van de lucht of de chemische vloeistof rondom het blad. Omdat de energie zo gericht is, blijft de buitenkant van de lamp onder de ontvlammingstemperatuur van de gebruikte chemicaliën. Het is dus een veilige manier om hitte te gebruiken.
Maar er is nog een belangrijk punt: je moet nog steeds goed opletten op de luchtcirculatie. Als de ventilatiesystemen faillieten en er zich dampen ophopen, kan zelfs een afgesloten lamp gevaarlijk worden als het oppervlak te heet wordt. Daarom gebruiken we deze lampen samen met een integreerde thermocouple. Deze zorgt ervoor dat de lamp nooit te heet wordt.
Het onderhoud van de apparatuur
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen, zodat je je hele productielijn niet hoeft te herontwerpen. De bedrading loopt via brandvertragende buizen – want niemand wil dat de kabels beschadigen tijdens een langdurige productie. Omdat deze lampen in een corrosieve omgeving staan, behandelen we het buitenste glas zodat de chemicaliën het glas niet kunnen beschadigen.
Een tip: houd het glas in de gaten. Als het glas troebel wordt, neemt de warmteoverdracht af. De lamp moet dan harder werken en heter worden om dit te compenseren, wat meestal leidt tot een eerder gebrek aan prestaties. Controleer het kwarts elke 500 uur om er zeker van te zijn dat het nog transparant is. Je apparatuur zal je daarvoor dankbaar zijn.