Stop met het verspillen van warmte aan de wanden van uw ruimte
Wanneer u wafers verhit, wilt u dat de energie rechtstreeks op het substraat terechtkomt. Meer niet. U wilt niet dat de energie rondvliegt en zich in de wanden van uw ruimte ophoopt.
Het probleem is dat standaard infraroodlampen de warmte in alle richtingen uitzenden. In een compacte halfgeleiderapparaat worden deze wanden dus eigenlijk gigantische warmtetankers. Dat leidt tot problemen: er is een risico dat gevoelige elektronica beschadigd raakt, of dat een technicus ernstige brandwonden oploopt tijdens het onderhoud.
De warmte op de juiste plek brengen
We lossen dit op met directionele infraroodtechnologie. Door reflectoren of speciale coatings op het kwarts omhulsel te gebruiken, geven we de infrarode energie instructies om in één richting te gaan. Hierdoor wordt de hele thermische belasting verplaatst. In plaats van dat het apparaat de verspilde energie opneemt, blijft de warmte geconcentreerd op het doeloppervlak.
U denkt misschien: Waarom plaatst u de lamp niet gewoon dichter bij de wafer, zodat er meer warmte wordt gegenereerd?
Doe dat niet. Als u te dichtbij komt, ontstaan er hotspots en wordt de verhitting oneffen. Te ver weg en u verliest efficiëntie. We bepalen de exacte brandpuntsafstand van de reflector op basis van de diameter van uw wafer. Op deze manier wordt de warmte gelijkmatig over het oppervlak verdeeld, zodat de omringende onderdelen koel blijven.
De nadelen (want niets is perfect)
Directionele verhitting is geen magische oplossing. Wanneer u de infrarode straal in één richting stuurt, wordt de filamet van de lamp wat overbelast. De lamp werkt dan warmer dan een standaard buis.
Dat betekent dat u goed moet letten op de koeling. Uw ventilatoren of waterkoelingssystemen moeten in staat zijn om deze gecentreerde warmte aan te kunnen. Als de luchtcirculatie te slecht is, zullen delampen veel sneller kapotgaan dan nodig is.
Mijn beste advies? Gebruik tijdens uw eerste testrun een thermische camera. Als de binnenwanden nog steeds heet zijn, moet u waarschijnlijk de hoek van de reflector aanpassen of de veilige afstand veranderen.
Zodra de geometrie goed is ingesteld, hoeft u geen energie meer uit te geven aan het verwarmen van het apparaat.