ในกระบวนการลิโธกราฟีนั้น โมดูลการอบจะไม่ยอมปรับเปลี่ยนค่าใดๆ เลย การอบแบบอ่อนจะช่วยกำจัดสารละลายที่อยู่ในฟอโตรีซิสต์ ส่วนการอบแบบแข็งจะช่วยกำหนดรูปร่างของฟอโตรีซิสต์ก่อนที่จะเข้าสู่ขั้นตอนการแกะสลัก หากองค์ประกอบหัวเผาของ Axcelis มีความคลาดเคลื่อน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะลดลง ส่งผลให้เกิดความผิดพลาดในการผลิต และอัตราการผลิตก็จะลดลงก่อนที่เครื่องแกะสลักจะได้รับวัตถุดิบเข้ามาเลย
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เรากำหนดให้องค์ประกอบหัวเผาของ Axcelis มีคุณสมบัติที่เหมาะสมสำหรับการควบคุมอุณหภูมิ วัสดุควอตซ์ที่ใช้ร่วมกับแหล่งกำเนิดแสงอินฟราเรดแบบคลื่นสั้นหรือคลื่นกลาง จะช่วยให้อุณหภูมิสูงขึ้นอย่างรวดเร็ว โดยมีความเฉื่อยทางอุณหภูมิต่ำ โดยมีเป้าหมายให้อุณหภูมิมีความสม่ำเสมอที่ระดับ ±0.1°C ทั่วพื้นที่ที่มีอุณหภูมิสูง เพื่อให้รูปร่างของฟอโตรีซิสต์มีความสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ องค์ประกอบหัวเผาจะทำงานที่แรงดันและความหนาแน่นของพลังงานที่กำหนดไว้ โดยไม่มีจุดร้อนเกิดขึ้น นอกจากนี้ รูปร่างของตัวอุปกรณ์ก็ต้องเหมาะสมกับขนาดเดิม รวมถึงส่วนประกอบอื่นๆ ด้วย วัสดุที่ใช้ก็ต้องเหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องควบคุมความสะอาดระดับ Class 1–100 และการผลิตก็ต้องมีความสะอาดสูง โดยมีการสร้างอนุภาคขึ้นมาน้อยที่สุด
เหตุผลที่มันได้ผลจริง คุณสามารถใช้เครื่องมือเดิม ขั้นตอนการผลิตเดิม และสถานะการทดสอบเดิมได้ ด้วยการควบคุมอุณหภูมิที่มั่นคง การอบแบบอ่อนจะช่วยกำจัดสารละลายได้อย่างสม่ำเสมอ ส่วนการอบแบบแข็งจะช่วยกำหนดรูปร่างของฟอโตรีซิสต์ได้อย่างแม่นยำ ส่งผลให้มีความผิดพลาดน้อยลง และสามารถควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ดี องค์ประกอบหัวเผาสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องตลอด 24/7 ดังนั้นคุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องความคลาดเคลื่อนในการอบ และเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็จะลดลง เนื่องจากการถ่ายเทความร้อนมีประสิทธิภาพ และองค์ประกอบหัวเผาสามารถรักษาอุณหภูมิที่กำหนดไว้ได้
รายละเอียดที่สำคัญ ความคลาดเคลื่อนในการติดตั้งต้องมีค่าที่แม่นยำ ต้องตรวจสอบทิศทางของตัวเชื่อมต่อ แรงกดที่ใช้ในการติดตั้ง และการจัดวางของเทอร์โมคัปเปิลให้ถูกต้อง มิฉะนั้นอาจเกิดความร้อนสูงในบริเวณนั้น และทำให้การวัดค่าอุณหภูมิผิดพลาดได้ ก่อนที่จะเริ่มการผลิตอีกครั้ง ต้องตรวจสอบสภาพของซีลในห้องอบให้ดี หากซีลมีรอยรั่ว ก็จะส่งผลให้สภาพอุณหภูมิเปลี่ยนไป และอาจทำให้ไม่สามารถวัดค่าอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ต้องให้องค์ประกอบหัวเผามีขนาดที่เหมาะสมกับรุ่นและเวอร์ชันของ Axcelis โดยเฉพาะ เพื่อให้รูปร่างของอุณหภูมิและสถานะการทดสอบยังคงเหมือนเดิม