ในเส้นทางผลิตที่มีความยาว 300 มิลลิเมตร การเบี่ยงเบนของมุมเพียงครึ่งองศาระหว่างกระบวนการอบฟอโตรีซิสต์ก็เพียงพอที่จะทำให้ความกว้างของเส้นที่ได้ผิดเพี้ยนไป และอาจทำให้ผลิตภัณฑ์เสียหายได้ นี่คือสภาพแวดล้อมที่เราสร้างเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดที่สามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมแบบสุญญากาศขึ้นมา เพราะในสภาพแบบนี้ การควบคุมอุณหภูมิเป็นสิ่งสำคัญมาก และจำนวนอนุภาคในห้องผลิตก็ถูกวัดในระดับโมเลกุล
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นในระบบควอตซ์ เพื่อส่งความร้อนไปยังฟอโตรีซิสต์และวัสดุที่ใช้ในการผลิตโดยตรง การตอบสนองของเครื่องนี้อยู่ในระดับไม่ถึงหนึ่งวินาที โดยไม่จำเป็นต้องมีการสัมผัสกัน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณที่มีการผลิตอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำผลิตภัณฑ์อยู่ที่ ≤0.2°C
เครื่องทำความร้อนนี้สามารถนำมาใช้ในห้องสุญญากาศและเครื่องมือผลิตต่างๆ ได้ โดยมีการป้องกันรังสี RF/DC ด้วย นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ อุณหภูมิถูกควบคุมโดยใช้เครื่องวัดอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง และข้อมูลเกี่ยวกับอุณหภูมิสามารถนำไปเปรียบเทียบกับมาตรฐานของ NIST ได้
เหตุผลที่เครื่องนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในกระบวนการลิโธกราฟี ในกระบวนการลิโธกราฟี จำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิให้มั่นคง เพื่อควบคุมการกำจัดตัวทำละลาย ความเครียดของฟิล์ม และความเบี่ยงเบนของความกว้างของเส้นที่ได้ เครื่องนี้ช่วยควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้ลดความเบี่ยงเบนของความกว้างของเส้นได้ และยังช่วยเพิ่มอัตราการผลิตอีกด้วย นอกจากนี้ การตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็วยังช่วยลดเวลาการทำงานของเครื่องได้อีกด้วย
การใช้งานในสภาพแวดล้อมแบบสุญญากาศช่วยลดความเสี่ยงจากการรั่วไหลของก๊าซได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะความร้อนถูกส่งไปยังวัสดุที่ต้องการทำความร้อนโดยตรง ไม่ต้องใช้พลังงานมากเหมือนการใช้เครื่องทำความร้อนแบบปกติ เราเคยเห็นเครื่องนี้ทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพการทำงานเพียง 5% เท่านั้น จึงสามารถใช้งานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีอนุภาคน้อยมาก
สิ่งที่คุณควรรู้ก่อนการใช้งาน การติดตั้งเครื่องนี้ต้องมีการปรับให้เครื่องอยู่ในแนวเดียวกับวัสดุที่จะทำความร้อน และต้องปรับค่าความสามารถในการปล่อยความร้อนให้เหมาะสมกับวัสดุที่ใช้ด้วย วัสดุต่างๆ เช่น แก้ว ผิวหน้าที่มีคุณสมบัติป้องกันการสะท้อนแสง ล้วนมีผลต่อการถ่ายโอนความร้อนด้วย
เครื่องนี้ไม่ใช่อุปกรณ์ที่สามารถนำมาใช้งานได้ทันทีกับทุกแพลตฟอร์ม คุณจำเป็นต้องมีอินเทอร์เฟซควบคุมที่เหมาะสม และการติดตั้งที่เหมาะสมด้วย ควรมีการทดสอบการทำงานก่อนการใช้งานจริง เพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิที่ได้เป็นไปตามมาตรฐานที่กำหนดไว้