บนพื้นผิวหิน การเคลื่อนที่เพียงครึ่งองศาในระหว่างกระบวนการอบก็เพียงพอที่จะทำให้ค่า CD เปลี่ยนแปลงได้ และส่งผลให้วงแหวนสารกึ่งตัวนำที่มีคุณภาพดีเสียหายได้ ดังนั้นเราจึงออกแบบหลอดไฟสำหรับอุ่นวงแหวนสารกึ่งตัวนำขึ้นมา เพื่อช่วยลดการเคลื่อนที่ดังกล่าว โดยมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ไม่มีการเปลี่ยนแปลง
สิ่งที่สำคัญในการทำงาน เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดความถี่ต่ำ (SWIR) ซึ่งอยู่ภายในฝาครอบควอตซ์ ทำให้การเพิ่มอุณหภูมิเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว และอุณหภูมิจะคงที่ตลอดเวลา ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิววงแหวนสารกึ่งตัวนำอยู่ในช่วง ±0.1°C ดังนั้นอุณหภูมิของสารกึ่งตัวนำจึงอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ ไม่ได้ขึ้นอยู่กับอุปกรณ์ที่ใช้
ระบบนี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดทุกระดับ ตั้งแต่ระดับ 1 ถึง 100 โดยมีการเลือกอุปกรณ์และวัสดุที่เหมาะสม เพื่อลดการเกิดอนุภาคให้เหลือน้อยที่สุด ดังนั้นจึงสามารถรักษาความสม่ำเสมอของผลลัพธ์ได้ แม้จะทำงานตลอด 24 ชั่วโมงก็ตาม นอกจากนี้ ข้อมูลการใช้งานยังแสดงให้เห็นว่าระบบสามารถทำงานได้อย่างมีเสถียรภาพเป็นเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง
เหตุผลที่ระบบนี้มีประสิทธิภาพในการผลิต ในกระบวนการอบแบบอ่อนและแบบแข็ง หลอดไฟจะช่วยควบคุมอุณหภูมิที่เกี่ยวข้องกับการกำจัดตัวทำละลาย การเปลี่ยนสถานะของวัสดุ และความสามารถในการกัดวัสดุ สิ่งนี้ช่วยให้สามารถควบคุมค่า CD ได้อย่างแม่นยำ ลดจำนวนข้อบกพร่อง และลดจำนวนวงแหวนสารกึ่งตัวนำที่ต้องทำการแก้ไขใหม่
การตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็ว และการใช้พลังงานอย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยลดการใช้พลังงาน และยังช่วยให้อุปกรณ์สามารถทำงานได้นานขึ้น เนื่องจากหลอดไฟสามารถทำงานได้เป็นเวลานาน โดยมีช่วงเวลาในการบำรุงรักษาที่แน่นอน
รายละเอียดเชิงปฏิบัติ คุณจะได้ความสม่ำเสมอที่ดีที่สุดเมื่อเส้นทางแสงอยู่ในแนวเดียวกับพื้นผิววงแหวนสารกึ่งตัวนำ และรูปร่างของตัวสะท้อนแสงเหมาะสมกับกระบวนการผลิต คาดว่าจะใช้เวลาไม่นานในการปรับอุณหภูมิให้เหมาะสมก่อนที่จะเริ่มกระบวนการอบ
ควรวางแผนเรื่องแหล่งจ่ายไฟและความสอดคล้องของอุปกรณ์ต่างๆ ด้วย เรามีคำแนะนำเกี่ยวกับการเชื่อมต่อสายไฟ เพื่อให้เหมาะสมกับอุปกรณ์ที่คุณมีอยู่