Parçacıkların yayılmasını engelleyin: Wafer üretim tesislerindeki tüp patlamalarıyla başa çıkma
Dürüst olalım; bir yarı iletken üretim tesisinde bir kızılötesi lambanın patlaması tam anlamıyla bir felakettir. Bu durum sadece üretimin durmasından kaynaklanmaz – ki bu da zaten oldukça kötü bir durumdur. Asıl sorun, ortaya çıkan dağınıklıktır. Kuvars kaplama ağır yük altında parçalandığında, cam parçaları ve diğer parçacıklar doğrudan wafferlerin üzerine düşer.
Bu durum bir kirlilik felaketidir. İşte bu yüzden karbon fiber malzemeden yapılmış kızılötesi lambalar geliştirdik. Amacımız bu ikincil kirlilik sorununu tamamen ortadan kaldırmaktı.
Neden karbon fiber?
Çoğu insan tungsten malzemesine alışkındır. Ancak biz bunun yerine karbon fiber filamentler kullandık. Bunun sebebi şudur: Karbon fiber, ısıya daha iyi dayanır. Sıcaklık arttığında neredeyse hiç genişlemez.
Ekipmanlarınızın hızlı ısınma ve soğuma döngülerini düşünün. Bu durum cam üzerinde büyük mekanik baskı yaratır. Karbon fiber kullanılarak termal profil sabit kalır. Böylece cam o kadar fazla zarar görmez ve bu da yüksek yük altındaki üretim süreçlerinde daha uzun süre dayanmasını sağlar.
Parçacıkların kontrol altında tutulması
Her şeyin kontrol altında kalması için mühürleme ve kaplama konularına büyük önem verdik. Aşırı sıcaklık değişimlerine dayanabilecek yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Ayrıca uçları hassas vakum yöntemiyle birleştiriyoruz. Bu teknik bir işlem gibi görünse de aslında basittir: Gazın sızmasını engeller. Gaz sızarsa filament oksitlenir ve bu da genellikle tüpün patlamasına neden olur.
Her ihtimale karşı özel bir koruyucu kaplama da ekledik. Eğer tüp gerçekten bozulursa, bu kaplama bir güvenlik ağı görevi görerek parçacıkların wafferlerin üzerine düşmesini engeller.
Dikkat edilmesi gereken birkaç nokta
Tabii ki bu güvenlik iyileştirmeleri fiziksel olarak “ücretsiz” değildir. Güçlendirilmiş kuvars ve bu kaplamalar, ince ve kaplamasız tüplere kıyasla spektral çıktıyı biraz değiştirir. Isı transferini doğru şekilde sağlamak için PID kontrollerinizi ayarlamanız gerekebilir. Ayrıca soğutma sistemlerinizi de kontrol edin. Lamba tutucularının aşırı ısınmaması için soğutma sistemlerinin bu tüplerin gücüne uygun olup olmadığından emin olun. Bu küçük bir ayarlama olsa da tüm sistemin daha sağlam olmasını sağlar.