Parçalanmayı Durdurun: Yıkama İşlemlerinde Kızılötesi Lambaları Kullanmanın Daha İyi Yolu
Eğer yüksek kapasiteli wafer üretimi yapıyorsanız, bu korkunç durumu biliyorsunuzdur. Yıkama aşamalarında kızılötesi ısıtma sistemleri kullanılır; ancak birdenbire lambalar patlayabilir. Bu bir felakettir. Bir kuvars tüpü patladığında, waferlerin üzeri cam parçaları ve kimyasal maddelerle kaplanır. Böylece tüm parti boşa gider.
Bu riskten bıktık ve artık bu tür açık tüp tasarımlarını kullanmayı bıraktık. Bunun yerine su geçirmez, kapalı bir yapı kullanmaya başladık.
Lambalar Neden Patlar?
Aslında standart kızılötesi lambalar, yıkama ortamları için uygun değildir. Genellikle sızan nem veya termal şoklar nedeniyle arızalanırlar. Düşünün: 600°C sıcaklıkta bir tüp var. Üzerine düşen küçük bir su damlası bile büyük bir stres noktası oluşturur ve lamba patlar.
Bunu önlemek için yüksek saflıkta kuvars malzemeyi kimyasallara dayanıklı bir malzemeden yapılmış su geçirmez bir kabın içine yerleştirdik. Bu yapı bir kalkan görevi görür. Su, sıcak kuvarsa dokunamaz ve böylece kuvars hiç patlamaz.
Güvenliği Sağlamak
Isıtıcı elemanın dış dünyadan tamamen izole edilmesi için güçlendirilmiş uç kapaklar ve özel contalar kullandık. Böylece gücü artırabilirsiniz, ancak elektriksel arızalar konusunda endişelenmenize gerek kalmaz.
Bir ipucu: Güç kaynağınızı mutlaka kontrol edin. Gerilim ve güç değerlerinin lambanın gerekliliklerine uyduğundan emin olun. Aşırı güç kullanılırsa iç basınç artar ve bu da zamanla su geçirmez contaların zarar görmesine neden olur.
Kullanımı Kolay
En iyi yanı ise bunun yerine geçebilecek bir çözüm olmasıdır. Artık karmaşık koruma sistemleriyle uğraşmanıza gerek yok. Isı kaynağı kapalı olduğu için, waferlerin üzerine cam parçalarının düşmesi gibi sorunlarla karşılaşmazsınız.
Soğutma konusunda bir uyarı: Dış kılıf, çıplak bir tüpe kıyasla daha fazla ısı tutar. Bu yüzden soğutma fanlarınızın yeterli güce sahip olduğundan emin olmalısınız.
Bu basit çözüm, bir sürü sorunu ortadan kaldırır.