Lito zemin üzerinde, yumuşak pişirme işlemi sırasında yarım derecelik bir kayma bile, CD bias değerlerini değiştirmeye ve birçok kaliteli waferin bozulmasına neden olabilir. Bu tür kaymaları en baştan önlemek için wafer ısıtma lambalarını geliştirdik; böylece belirlenen sıcaklık değerleri hatasız bir şekilde korunur.
Sistemde önemli olan faktörler Kvarts kaplamalı kısa dalga boylu kızılötesi halojen lambalar kullanıyoruz. Isınma hızı yüksek ve sabit durumda kalır. Işıklandırılan bölgede waferin sıcaklığı ±0.1°C aralığında sabit kalır; böylece foto direnç sıcaklığı, cihazın kendisinden ziyade belirlenen formüle göre değişir.
Sistem, 1. sınıftan 100. sınıfa kadar olan temiz oda koşullarına uygundur. Parçacık üretimini mümkün olduğunca sıfıra yakın tutmak için özel donanım ve malzemeler kullanılmıştır. 24/7 çalışma koşullarında bile çıktının tekrarlanabilirliği korunur ve 5.000 saatten fazla kullanımda bile spektral çıkış stabil kalır.
Üretimde nasıl işlev görür? Yumuşak ve sert pişirme işlemlerinde, lamba çözücü uzaklaştırılması, camın geçiş sıcaklığı ve aşındırma seçiciliğini kontrol eden termal parametreleri belirler. Bu da daha iyi CD kontrolü, daha düşük kusur yoğunluğu ve daha az yeniden işleme gerekliliği anlamına gelir.
Hızlı termal tepki ve verimli kısa dalga boylu kızılötesi lambalar sayesinde enerji tüketimi azalır ve lambaların bakım periyotları belirlenebildiğinden çalışma süresi artar.
Pratik detaylar Optik yolun wafer düzlemiyle hizalanması ve yansıtıcıların geometrisinin işlem koşullarına uygun olması durumunda en iyi homojenlik elde edilir. Pişirme işleminin optimize edilebilmesi için kısa bir ısınma süresi gereklidir.
Cihazın güç ihtiyaçları ve entegrasyon uyumluluğunu göz önünde bulundurun; mevcut platformlarınıza uygun kablo bağlantıları konusunda rehberlik sağlıyoruz.