На етапі літографії модуль випалювання не допускає жодних поступок. Процес м’якого випалювання усуває напругу в фотостійкому шарі та видаляє розчинники; процес твердого випалювання фіксує профіль шару перед етапом етчингу. Якщо елемент нагріву Axcelis виходить з ладу, однорідність температури порушується. Це призводить до зміщення координат чипа, появи нерівностей на поверхні та інших проблем. Вихід готової продукції знижується ще до того, як обладнання для етчингу взагалі може оцінити якість чипа.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми передбачаємо використання запасних елементів нагріву Axcelis для забезпечення стабільного температурного режиму. Кварцові підкладки з джерелами інфрачервоного випромінювання короткої чи середньої довжини хвилі забезпечують швидке нагрівання з мінімальною тепловою інерцією. Метою є досягнення однорідності температури на рівні ±0,1°C по всій поверхні чипа, щоб профіль випалювання фотостійкого шару залишався стабільним при кожній серії виробництва. Елемент нагріву працює при заданій напрузі та щільності потужності без утворення „гарячих точок“. Геометрія корпусу елемента відповідає оригінальній конструкції – включаючи кріплення та клемні блоки. Матеріали придатні для використання в чистих приміщеннях класу 1–100, а процес виробництва забезпечує мінімізацію утворення частинок.
Чому це працює на практиці
Ви можете продовжувати використовувати ту саму технологію, той самий процес та ту саму систему контролю якості. Завдяки стабільному контролю температури процес м’якого випалювання ефективно усуває розчинники, а процес твердого випалювання фіксує профіль шару без змін. Це дозволяє зменшити кількість бракованих виробів та забезпечити стабільний контроль параметрів чипа. Елемент нагріву залишається стабільним під час цілодобової роботи, тож не потрібно більше турбуватися про періодичні зміни температури та непланові зупинки обладнання. Витрати енергії також зменшуються завдяки ефективному теплопередачі та стабільному підтриманню заданої температури.
Деталі, які мають значення
Допуски під час встановлення є дуже точними.Необхідно перевірити правильність розташування контактів, тиск їх з’єднання та вирівнювання термопари – інакше може виникнути локальне перегрівання та неточні показники температури. Перед поверненням до виробництва необхідно перевірити герметичність камери випалювання; протікання може змінити теплове середовище та приховати справжні характеристики елемента нагріву. Запасні елементи мають відповідати саме моделі та версії Axcelis, щоб тепловий профіль та параметри контролю залишалися стабільними.