Làm nóng các tấm wafer mà không gây ra cháy nổ
Việc làm nóng các tấm wafer trong quá trình vệ sinh hóa học là một công việc đầy thách thức. Bạn cần kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, nhưng lại phải thực hiện công việc này ngay bên cạnh các chất lỏng dễ cháy. Điều này có thể dẫn đến tai nạn nếu bạn không cẩn thận. Để đảm bảo an toàn, chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại chuyên dụng – loại bóng đèn không gây ra tình trạng cháy nổ trong môi trường như vậy.
Cách thiết kế “không gây tia lửa”
Hầu hết các bóng đèn hồng ngoại đều có cấu trúc “mở”, tức là sợi dây tóc dùng để tạo nhiệt nằm ngay bên ngoài. Trong môi trường vệ sinh hóa học, một tia lửa nhỏ hoặc bề mặt quá nóng cũng có thể gây ra hỏa hoạn. Chúng tôi tránh điều này bằng cách bọc toàn bộ bóng đèn trong vỏ bằng thạch anh chống nổ. Đây chính là lớp bảo vệ giúp ngăn cách các linh kiện điện tử với khí hóa học. Chúng tôi còn sử dụng chất kết dính đặc biệt ở các điểm tiếp xúc giữa các điện cực, nhằm ngăn không cho khí lọt vào bên trong vỏ bóng đèn.
Giữ cho bóng đèn mát mẻ
Các bóng đèn này sử dụng bức xạ hồng ngoại tần số cao. Ưu điểm của phương pháp này là năng lượng được truyền trực tiếp vào tấm wafer, không lãng phí năng lượng để làm nóng không khí hay chất lỏng xung quanh. Vì năng lượng được tập trung mạnh, nên bề mặt bóng đèn vẫn duy trì ở nhiệt độ dưới mức gây cháy nổ. Đây là cách làm nóng an toàn hơn nhiều.
Nhưng vẫn cần phải chú ý đến dòng khí lưu thông. Nếu hệ thống thông gió bị hỏng và khí hóa học tích tụ quá nhiều, ngay cả bóng đèn được bọc kín cũng có thể gặp nguy cơ cháy nổ nếu bề mặt bóng đèn quá nóng. Vì vậy, chúng tôi kết hợp bóng đèn này với một chuỗi điện trở nhiệt. Điều này giúp đảm bảo rằng bóng đèn không bao giờ bị quá nóng.
Bảo trì thiết bị
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho có thể thay thế ngay lập tức, vì vậy bạn không cần phải thiết kế lại toàn bộ hệ thống sản xuất của mình. Chúng tôi sử dụng ống dẫn dây chống cháy để bảo vệ dây điện khỏi bị hư hại trong quá trình sử dụng. Vì các bóng đèn này hoạt động trong môi trường ăn mòn, chúng tôi còn xử lý lớp kính bên ngoài để ngăn chất hóa học làm hỏng kính. Một mẹo nhỏ: hãy kiểm tra lớp kính định kỳ mỗi 500 giờ để đảm bảo nó vẫn trong suốt. Thiết bị của bạn sẽ cảm ơn bạn vì điều đó.