Trên bề mặt đá, chỉ cần có sự dịch chuyển 0,5 độ trong quá trình nung ấm, thì điện áp tác động lên wafer cũng sẽ thay đổi, gây hư hại cho nhiều wafer tốt. Chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn sưởi wafer sao cho có thể kiểm soát được sự dịch chuyển này ngay từ đầu – tức là kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, mà không cần phải đoán mò.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các bóng đèn halogen phát sóng hồng ngoại tần số thấp, được đặt trong vỏ bằng thạch anh. Quá trình nung diễn ra nhanh chóng và ổn định. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C trong vùng được chiếu sáng; do đó, nhiệt độ của lớp phim quang học cũng được kiểm soát chính xác, theo đúng yêu cầu của quy trình sản xuất.
Hệ thống này hoạt động tốt trong môi trường phòng sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100. Các linh kiện và vật liệu được chọn lựa kỹ lưỡng để giảm thiểu sự tạo ra các hạt bẩn. Ngay cả khi hoạt động liên tục 24/7, hệ thống vẫn giữ được độ ổn định trong việc tạo ra ánh sáng, và tuổi thọ của bóng đèn có thể lên đến hơn 5.000 giờ.
Tại sao hệ thống này lại hiệu quả trong quá trình sản xuất? Trong quá trình nung ấm, bóng đèn giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, từ đó giúp loại bỏ chất dung môi, kiểm soát quá trình chuyển pha của vật liệu, và tăng độ chọn lọc trong quá trình khắc. Điều này giúp kiểm soát độ chính xác của CD cao hơn, giảm tỷ lệ sản phẩm bị lỗi, và giảm số lượng sản phẩm cần được sửa chữa.
Khả năng phản ứng nhiệt nhanh và hiệu suất cao của bóng đèn giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng. Thời gian hoạt động của bóng đèn cũng được kéo dài nhờ vào việc bảo trì định kỳ.
Chi tiết kỹ thuật Để đạt được độ đồng đều tốt nhất, đường đi của ánh sáng cần được căn chỉnh sao cho trùng với mặt phẳng của wafer, và hình dạng của bộ phản xạ cũng cần phù hợp với quy trình sản xuất. Bạn sẽ cần thời gian để bóng đèn ổn định nhiệt độ trước khi có thể sử dụng nó trong quá trình sản xuất.
Bạn cũng cần lưu ý đến nguồn điện cung cấp cho bóng đèn và khả năng tương thích với các thiết bị khác. Chúng tôi cung cấp hướng dẫn về việc kết nối dây điện sao cho phù hợp với hệ thống hiện có của bạn.