半导体洁净室推车式加热器

保持晶圆清洁：关于运输车用加热器的真相 在大型制造工厂中，如果运输车上的红外灯出现故障，那可不仅仅是麻烦事——那简直就是一场灾难。当石英管破裂时，它不会简单地破碎，而是会溅出大量的微小玻璃碎片和电极碎屑。如果这些碎片接触到晶圆，那就意味着巨大的损失。我们专门设计了这种运输车用加热器，就是为了防止这...