৩০০ মিমি লাইনে কাজ করার সময় দ্রুতই বোঝা যায় যে, ড্রাইং/বেকিং প্রক্রিয়ায় ০.১°সেলসিয়াসেরও কম পরিবর্তনটা কোনো “ছোট পরিবর্তন” নয়। এর ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো ন্যানোমিটার পরিমাণে পরিবর্তিত হয়; আর এর ফলে পার্টিকেলগুলোর সংখ্যাও ভুলভাবে পরিবর্তিত হয়। অটোমেটেড ওয়েফার ড্রাইং হিটারগুলো শুধুমাত্র অতিরিক্ত তাপ সরবরাহ করে না; বরং ফটোরেসিস্ট সফ্ট বেকিং ও হার্ড বেকিং প্রক্রিয়াগুলোর জন্য এগুলো অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। এছাড়া, ক্লিনিং-পরবর্তী ড্রাইং প্রক্রিয়ায়ও এগুলো গুরুত্বপূর্ণ; কারণ এর ফলেই নির্ধারিত মানে উত্পাদন সম্ভব হয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ড্রাইং হিটারটিকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে ক্লিনরুম-সংগত থার্মাল মডিউলের মাধ্যমে ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রা ±০.১°সেলসিয়াসের মধ্যে থাকে। ২৪ ঘণ্টা ধরে এই স্থিতিশীলতা ±০.২°সেলসিয়াসের নিচে থাকে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয় ফটোরেসিস্টের তাপীয় প্রয়োজনীয়তার অনুযায়ী; যাতে কোনো সমস্যা না হয়। চেম্বার ও এক্সহস্ট প্যাথগুলো এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে কোনো পার্টিকেল বের না হয়; ফলে ISO ক্লাস ১–১০০ মানদণ্ড বজায় থাকে। বিভিন্ন লটের মধ্যে তাপমাত্রার পরিবর্তন ≤০.৩°সেলসিয়াস; ফলে প্রক্রিয়াটি নির্ধারিত মানেই চলে।
এটি কেন এভাবে কাজ করে?
লিথোগ্রাফি ও ট্র্যাক ইন্টিগ্রেশন প্রক্রিয়ায় সামঞ্জস্যপূর্ণ সফ্ট বেকিং প্রক্রিয়া ফিল্মের ভিসকোসিটি ও স্ট্রেস নিয়ন্ত্রণ করে; আর হার্ড বেকিং প্রক্রিয়া এক্সপোজার ও ডেভেলপমেন্টের আগে ফিল্মের প্রোফাইলকে স্থিতিশীল রাখে। এই হিটারের সাহায্যে রিওয়ার্কের প্রয়োজন কমে যায়; আর থার্মাল ভেরিয়েবিলিটি দূর করে CD ও ওভারলে পারফরম্যান্সকে স্থিতিশীল রাখা যায়। এটি অটোমেটেড রেসিপিগুলোকে সমর্থন করে; ফলে অপারেটরদের কোনো ধারণা ছাড়াই কাজ করতে হয় না। আর এনার্জি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ মডিউলটি শুধুমাত্র নির্ধারিত সাইকেলগুলোতেই তাপ সরবরাহ করে।
কিছু ব্যবহারিক নোট:
ইনস্টলেশনের সময় ট্র্যাক গ্যাস, ভ্যাকুয়াম ও এক্সহস্ট ইন্টারফেসগুলোর সাথে সঠিক সমন্বয় প্রয়োজন। আর হিটারটি অবশ্যই ওয়েফারের আকার ও চাকের জ্যামিতির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে হবে। প্রক্রিয়ার অবস্থায় তাপমাত্রা নির্ধারণ করার জন্য একটি কোয়ালিফিকেশন রান করা উচিত। একবার সঠিকভাবে সেট হয়ে গেলে হিটারটি অব্যাহতভাবে কাজ করতে পারে; কিন্তু স্থিতিশীলতা ও পার্টিকেল পারফরম্যান্স বজায় রাখার জন্য নিয়মিত ক্যালিব্রেশন ও ফিল্টার চেক প্রয়োজন।