Wie man MEMS-Wafer trocknet – ohne Probleme
Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern erfordert eine sorgfältige Abwägung. Das Wasser muss schnell entfernt werden – doch wenn man die Wafer einfach mit Hitze behandelt, besteht die Gefahr, dass die Wafer verformt werden oder die gesamte Charge kontaminiert wird.
Der Schlüssel liegt darin, sicherzustellen, dass die Wärme tatsächlich dorthin gelangt, wohin sie soll. Die meisten Geräte verschwenden viel Energie darauf, den Metallrahmen zu erhitzen. Wir lösen dieses Problem, indem wir spezielle Infrarotheizer mit goldbeschichteten Reflektoren kombinieren.
Warum Gold?
Aluminium ist zwar der Standard, aber es eignet sich nicht besonders gut. Es absorbiert zu viel Infrarotenergie. Gold hingegen reflektiert im Nahinfrarotspektrum über 98 Prozent der Energie. Anstatt dass die Wärme unkontrolliert im Raum verteilt wird, werden die Photonen durch die Goldschicht direkt auf die Wafer zurückgeworfen. Das ist wie das Einsatz eines Vergrößerungsglases anstelle einer Glühbirne – man erhält eine viel intensivere Wärmezufuhr genau dort, wo sie benötigt wird, ohne die Leistung der Lampen erhöhen zu müssen.
Die schwierige Aufgabe: Hitze und Leistung
Beim Auswahl dieser Heizer muss man auf die richtige Leistung sowie die richtige Fläche achten. Hochleistungs-Lampen sind zwar geeignet, um die Arbeitsgeschwindigkeit zu erhöhen – doch sie werden dabei sehr heiß. Wenn das Kühlsystem nicht in der Lage ist, die entstehende Wärme abzuführen, kann es zu Problemen kommen – wie verbogenen Bauteilen oder beschädigten Sensoren. Deshalb investieren wir viel Zeit in die Kalibrierung des Fokuspunkts. So wird sichergestellt, dass die Wärme genau auf der Waferoberfläche ankommt.
Stabiles Funktionieren
Diese Heizer sind als einfache Ersatzteile für herkömmliche Infrarotarrays konzipiert. Wir haben uns besonders auf die Distanz zwischen Sender und Reflektor konzentriert – dort entstehen nämlich „Tote Zonen“, also Bereiche, in denen die Wärme nicht effektiv genutzt werden kann.
Ein wichtiger Hinweis: Gold ist weich. Es kann nicht wie Aluminium grob gereinigt werden. Wenn man aggressive Reinigungsmittel verwendet, wird die Oberfläche beschädigt. Dadurch sinkt die Effizienz und die Stromkosten steigen. Verwenden Sie daher nur zugelassene optische Reinigungsmittel – dann funktionieren die Heizer einwandfrei.