Warum Goldreflektoren für die Aushärtung von Wafern wirklich wichtig sind
Beim Aushärten von Wafers geht es nicht nur darum, die Temperatur zu erhöhen. Im Grunde genommen handelt es sich dabei um ein „Spiel“ mit Photonen.
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – schließlich sind diese günstig. Doch das Problem ist: Aluminium saugt zu viel Energie auf. Es absorbiert die Wärme anstatt sie zurückzuschicken. Wir verwenden stattdessen reflektierende Oberflächen aus Gold – diese funktionsieren anders: Sie senden fast jede Einheit Infrarotenergie direkt zurück auf die Wafer.
Der Vorteil von Gold
Gold ist aus gutem Grund der Standard für die Behandlung von Langwellen-Infrarotstrahlen. Aluminium funktioniert zwar eine Zeit lang, doch es oxidiert mit der Zeit. Seine Effizienz nimmt damit ab. Unser Verfahren mit der Goldbeschichtung hält den Reflektor kühl, während die Wafer extrem heiß werden. Dadurch wird die Hitze gezielt auf die Wafer geleitet. Man muss nicht mehr raten, ob die Hitze tatsächlich ankommt – man weiß es einfach.
Vermeidung von „Kaltstellen“
Es gibt nichts Schlimmeres, als eine Wafer herauszunehmen und Kaltstellen zu finden. Das zerstört die Qualität der Wafer. Wir gestalten diese Reflektoren so, dass solche Kaltstellen vermieden werden. Durch Anpassung der Krümmung wird die gesamte Energie auf einen Punkt konzentriert. Dadurch wird die Aushärtung schneller erreicht. Wenn man einfach eine Hochleistungs-Lampe in eine Maschine ohne präzisen Reflektor einbaut, verschwendet man nur Geld – schließlich wird nur das Metallgehäuse der Maschine erhitzt.
Die Herausforderungen
Gold ist zwar ein präzises Werkzeug, doch es kann empfindlich sein. Es hasst Kontaminationen. Wenn Öl oder Chemikalien auf die Oberfläche gelangen, sinkt die Reflexionsfähigkeit. Bitte verwenden Sie keine aggressiven Reinigungsmittel – dadurch wird die Beschichtung zerstört. Behandeln Sie den Reflektor vorsichtig.
Einbau in die Anlage
Wenn Sie den Reflektor in Ihre Anlage einbauen, überprüfen Sie unbedingt die Ausrichtung der Lampe. Wenn Sie auch nur zwei Millimeter abweichen, verschiebt sich der Fokuspunkt – die Aushärtung erfolgt dann ungleichmäßig. Wir haben die Reflektoren so konzipiert, dass sie problemlos eingebaut werden können. Aber überprüfen Sie trotzdem die thermischen Ausdehnungsspannungen. Sie möchten schließlich nicht, dass der Reflektor nach längerer Nutzung beeinträchtigt wird.