Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren wirklich wichtig sind
Im Bereich der Verarbeitung von Halbleiterwafern ist es einfach unsinnig, Energie zu verschwenden. Punkt.
Wenn man Hochleistungs-Infrarotlampen verwendet, geht eine Menge dieser kostbaren Energie einfach verloren. Sie erreicht das Ziel nicht – sie verschwindet einfach im Mechanismus der Lampe. Das können wir verhindern, indem wir goldbeschichtete Reflektorkästen direkt in die Heizgeräte einbauen.
Warum Gold?
Aluminium ist zwar günstig und überall erhältlich – doch es funktioniert bei Infrarotwellen nicht gut. Gold hingegen ist äußerst effektiv darin, Infrarotwellen dorthin zurückzuschicken, wo sie hingehören.
Indem wir die Edelstahlgehäuse mit Gold beschichten, erreichen wir eine Reflexionsrate von 98–99 %. Anstatt dass das Gehäuse die Wärme aufnimmt, werden die Photonen direkt auf die Waferoberfläche reflektiert. Dadurch wird die Wafertemperatur erhöht – ohne dass man die Spannung erhöhen oder das System belasten muss.
Der Herstellungsprozess
Wir verwenden hochwertigen Edelstahl für die Gehäuse – schließlich würde jedes andere Material unter solchen thermischen Belastungen zerbrechen. Um das Gold aufzutragen, nutzen wir Vakuumbeschichtung. Das ist die einzige Methode, um sicherzustellen, dass die Beschichtung nicht abblättert, wenn die Geräte erhitzt oder abgekühlt werden.
Aber man muss auf die Geometrie achten. Wenn der Fokuspunkt zu eng ist, entstehen „heiße Punkte“, sobald die Lampe auch nur einen Bruchteil eines Millimeters vom Zentrum abweicht. Deshalb legen wir großen Wert auf die Toleranzen der Gehäuse. So bleibt der Strahl stabil und gleichmäßig auf der gesamten Waferoberfläche.
Die tatsächlichen Kompromisse
Gold ist nicht billig. Die Anschaffungskosten werden im Vergleich zu poliertem Aluminium höher sein. Doch man kann diese Kosten durch niedrigere Stromkosten sowie kürzere Aufwärmzeiten wieder hereinholen. Es handelt sich dabei um eine Investition in Effizienz.
Ein Hinweis zur Wartung: Gold ist weich. Wenn die Mitarbeiter während der Reinigung Schleifpads verwenden, werden sie die Beschichtung beschädigen und die Reflexionsfähigkeit ruinieren. Verwenden Sie lieber zugelassene Reinigungsmittel.
Und noch ein Tipp: Stellen Sie sicher, dass Ihr Kühlsystem richtig funktioniert. Andernfalls wird das Gehäuse überhitzen, das thermische Profil verändert sich – und die Wafer werden ungleichmäßig. Das will niemand.