Hören Sie auf, zuzulassen, dass das Ozon Ihre Ausrüstung zerstört!
Wenn Sie in einer Halbleiterfabrik arbeiten, ist Kontamination das Letzte, was Sie gebrauchen können. Ihre Trocknungs- und Aushärtungsprozesse müssen unauffällig ablaufen – sie sollten einfach funktionieren, ohne Spuren auf dem Wafer zu hinterlassen oder die Sauberkeit des Reinraums zu beeinträchtigen.
Deshalb kommen dabei ozeongeschützte Infrarotlampen zum Einsatz.
Die meisten herkömmlichen Kurzwellen-Infrarotlampen strahlen Strahlung im Bereich von 185 nm bis 254 nm aus. Das Problem: Diese Strahlung trifft auf den Sauerstoff in der Luft und erzeugt Ozon. In einer Fabrik ist Ozon im Grunde genommen wie ein „korrosives Phantom“ – es zerstört schleichend die Komponenten Ihrer Ausrüstung sowie Ihre Substrate, bevor man überhaupt merkt, dass etwas nicht in Ordnung ist.
Die Lösung ist eigentlich ganz einfach.
Wir nutzen spezielle Quarzkapseln oder interne Filter, um dieses VUV-Spektrum zu blockieren. Durch das Ausschließen aller Wellenlängen unter 200 nm eliminieren wir die chemischen Nebenprodukte vollständig. Übrig bleibt nur reine Wärmeenergie.
Das Beste daran: Man kann Hochleistungs-Aushärtungsprozesse durchführen, ohne riesige, lärmende Entlüftungssysteme einbauen zu müssen. Dadurch wirkt der gesamte Raum sauberer.
Außerdem geht das viel schneller.
Stellen Sie sich einen Konvektionsofen vor: Zuerst muss die Luft erhitzt werden, anschließend erwärmt die Luft die zu bearbeitenden Teile. Das ist langsam. Bei Infrarotlampen hingegen wird die Energie direkt an das Material übertragen. Das macht den Prozess effizienter. Die Aufwärmzeit wird kürzer, und die Prozesse laufen schneller ab. Zudem können diese Systeme zoniert werden – so wird keine Energie verschwendet, indem der ganze Chip erhitzt wird, obwohl nur ein kleiner Bereich Wärme benötigt.
Aber hier liegt das Problem:
Hocheffiziente Infrarotlampen werden sehr heiß – insbesondere an ihrem Lampenkopf. Auch wenn der Prozess umweltfreundlich ist, muss die Ausrüstung trotzdem mit diesem Stress fertigwerden.
Man darf bei den Kühlluftventilatoren oder wassergekühlten Systemen nicht sparen. Wenn die Kühlung unzureichend ist, überhitzen die Enden der Lampen und gehen viel zu früh kaputt. Das ist eine frustrierende Art, eine Lampe zu verlieren.
Durch den Einsatz ozeongeschützter Infrarotlampen wird das Leben viel einfacher. Man muss sich keine Sorgen mehr um Messgeräte für gefährliche Gase machen – und man kann die Anforderungen bezüglich Umweltfreundlichkeit und Verzicht auf Blei problemlos erfüllen. Es ist der kürzeste Weg zu einem saubereren und leiseren Arbeitsplatz.