Stoppen Sie die Scherben – eine bessere Methode zur Handhabung von Infrarotlamпen in den Spülvorgängen
Wenn Sie in großem Maßstab Wafer herstellen, kennen Sie sicherlich dieses Albtraumszenario: In den Spülphasen werden Infrarotlampen verwendet – plötzlich geht eine Lampe kaputt. Das ist eine Katastrophe: Eine Quarztube platzt, und überall sind Glasscherben sowie Chemikalien auf den Wafern. Dadurch wird eine ganze Charge unbrauchbar.
Wir hatten genug von diesem Risiko und haben daher auf solche offenen Lampenkonstruktionen verzichtet. Stattdessen verwenden wir jetzt wasserdichte, eingekapselte Systeme.
Warum gehen die Lampen eigentlich kaputt?
Standardmäßige Infrarotlampen sind einfach nicht für den Einsatz in Spülprozessen geeignet. Sie versagen meist aufgrund von Feuchtigkeit, die in die Abdichtung eindringt, oder durch thermische Schocks. Stellen Sie sich vor: Die Lampe ist bei 600°C erhitzt. Wenn eine kleine Wasserdroplet auf diese Oberfläche trifft, entsteht ein enormer Druck – und schon geht die Lampe kaputt.
Um das zu verhindern, haben wir einen hochreinen Quarzkörper in eine wasserdichte Hülle aus chemikalienbeständigem Material eingebaut. Diese Hülle schützt den Quarzkörper vor Wasser – dadurch platzt die Lampe nicht.
Sicherheit gewährleisten
Wir konzentrierten uns stark auf die Isolierung der Heizelemente. Wir verwendeteste verstärkte Endkappen sowie spezielle Abdichtungen, damit die Heizelemente vollständig von äußeren Einflüssen abgeschirmt werden. Dadurch können Sie die Leistung der Lampen erhöhen, ohne befürchten zu müssen, dass es zu Leckagen kommt.
Ein kleiner Tipp: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Stromversorgung. Stellen Sie sicher, dass Spannung und Leistung genau zu den Anforderungen der Lampe passen. Wenn Sie die Lampe überlasten, steigt der innere Druck – das kann im Laufe der Zeit die wasserdichte Abdichtung beschädigen.
Der Vorteil: Es handelt sich dabei um einen Ersatz, der direkt einsetzbar ist. Sie müssen sich keine Sorgen mehr um komplizierte Schutzvorrichtungen machen. Da die Wärmequelle gut abgeschirmt ist, müssen Sie sich auch keine Sorgen mehr um Glasscherben machen, die auf die Wafer fallen könnten.
Kühlung: Da die äußere Hülle etwas mehr Wärme speichert als eine normale Tube, sollten Sie sicherstellen, dass Ihre Kühlfans ausreichend leistungsstark sind.
Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung, die viele Probleme vermeidet.