Secar las obleas de sensores MEMS sin problemas
Secar las obleas de sensores MEMS requiere un equilibrio preciso. Es necesario eliminar el agua rápidamente, pero si se utiliza calor excesivo, existe el riesgo de que la oblea se deforme o que todo el lote se contamine.
La clave está en asegurarse de que el calor llegue exactamente donde debe ir. La mayoría de las máquinas desperdician mucha energía calentando el chasis metálico. Para solucionarlo, utilizamos calentadores infrarrojos especializados junto con reflectores recubiertos de oro.
¿Por qué el oro?
El aluminio es el material estándar, pero no es ideal. Absorbe demasiada energía infrarroja. El oro es diferente: en el espectro infrarrojo cercano, refleja más del 98% de esa energía. En lugar de tener un montón de calor disperso alrededor de la máquina, la capa de oro refleja esos fotones directamente sobre la oblea. Es como usar una lupa en lugar de una bombilla. De esta manera, se obtiene un calor mucho más intenso exactamente donde se necesita, sin tener que aumentar la potencia de las lámparas.
El problema: calor y potencia
Al elegir estos calentadores, es importante ajustar adecuadamente la potencia y el área de superficie. Las lámparas de alta potencia son útiles para acelerar el proceso, pero generan mucho calor. Si el sistema de refrigeración no puede manejar tanto calor, surgirán problemas: los soportes podrían deformarse o los sensores podrían dañarse. Por eso invertimos mucho tiempo en calibrar el punto focal. Nos aseguramos de que el calor llegue exactamente sobre la superficie de la oblea.
Mantener todo funcionando
Estos calentadores están diseñados para reemplazar fácilmente a los arrays infrarrojos tradicionales. Hemos prestado especial atención a la distancia entre el emisor y el reflector, ya que allí se forman las “zonas muertas”: aquellos lugares donde el calor se acumula sin servir para nada.
Un consejo importante: el oro es blando. No resiste bien el lavado intensivo, a diferencia del aluminio. Si se utilizan productos limpiadores agresivos, se rayará la superficie. Una vez que esto ocurra, la eficiencia disminuirá y la factura de energía aumentará. Utilice solo los productos limpiadores aprobados y todo estará bien.