در فرآیند لیتوگرافی، ماژول حرارتی نقش مهمی ایفا میکند؛ این ماژول تنشات ناشی از رزیست فوتوگرافیک را کاهش داده و محلولهای موجود در آن را خارج میکند. همچنین، این ماژول پروفایل حرارتی را قبل از مرحله حکاکی تثبیت میکند. وقتی که عنصر گرمایشی Axcelis دچار اختلال شود، یکنواختی دما کاهش مییابد؛ در نتیجه، اختلافاتی در سطح ویفر ایجاد میشود. در واقع، بازدهی تولید قبل از اینکه دستگاه حکاکی ویفر را ببیند، کاهش مییابد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما عنصر گرمایشی جایگزین Axcelis را برای کنترل دما استفاده میکنیم. سابستراتهای کوارتزی با منابع مادون قرمز کوتاهامواج یا متوسطامواج، باعث افزایش سرعت گرم شدن و کاهش اینرسی حرارتی میشوند. هدف، داشتن یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است؛ به این ترتیب، پروفایل حرارتی رزیست فوتوگرافیک در تمام دستههای تولیدی یکسان خواهد بود. عنصر گرمایشی در ولتاژ و تراکم انرژی مشخص شده کار میکند، بدون ایجاد نقاط گرم. همچنین، شکل بستهبندی این عنصر با شکل اصلی آن همخوانی دارد؛ این امر باعث میشود که نصب آن آسان باشد. مواد مورد استفاده نیز برای فضاهای پاکسازیشده در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند؛ همچنین، تولید این عنصر باعث کاهش تولید ذرات میشود.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
شما از همان ابزارها، روشهای تولید و ویژگیهای فنی یکسان استفاده میکنید. با کنترل پایدار دما، ماژول حرارتی محلولهای موجود در رزیست فوتوگرافیک را به طور یکنواخت خارج میکند؛ همچنین، پروفایل حرارتی رزیست فوتوگرافیک نیز تثبیت میشود. در نتیجه، اختلافات کمتری در سطح ویفر ایجاد میشود. عنصر گرمایشی نیز در طول ۲۴ ساعت شبانهروز به طور پایدار کار میکند؛ بنابراین، نیازی به کنترل مداوم دما نیست. مصرف انرژی نیز کم باقی میماند، زیرا انتقال حرارت کارآمد است و عنصر گرمایشی در دمای مشخص شده باقی میماند.
جزئیاتی که باید به آنها توجه کرد:
محدودیتهای نصب بسیار دقیق هستند؛ بنابراین باید جهت اتصالات، فشار نصب و تطابق ترموکوپلها را بررسی کرد؛ در غیر این صورت، خطر گرمای بیش از حد وجود دارد. قبل از بازگشت به فرآیند تولید، باید وضعیت ضدنفوذپذیری محفظه حرارتی را بررسی کرد؛ زیرا نشت در این محفظه میتواند محیط حرارتی را تغییر دهد و عملکرد واقعی عنصر گرمایشی را پنهان کند. باید عنصر گرمایشی جایگزین را با مدل و نسخه دقیق Axcelis مطابقت داد؛ تا پروفایل حرارتی و ویژگیهای فنی آن حفظ شود.