رساندن دمای ویفرها به میزان مناسب
اگر تا به حال با ویفرهای سیلیکونی کار کردهاید، میدانید که چقدر حساس هستند. هر اشتباه کوچکی در مدیریت دما میتواند باعث تغییر شکل ویفر شود؛ این واقعاً یک فاجعه است. برای جلوگیری از این اتفاق، از آینههای پوشیده شده با طلا در لامپهای اتاقهای پاکسازی استفاده میکنیم. چرا طلا؟ چون نمیتوانیم اجازه دهیم که انرژی گرانبها در بدنه لامپ هدر رود و بیفایده باقی بماند.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
آینههای آلومینیومی رایج هستند، اما آنها انرژی زیادی را جذب میکنند؛ بنابراین برای این کار کافی نیستند.
طلا متفاوت است؛ به همین دلیل است که استاندارد طلا برای این کار است. طلا نور مادون قرمز را بهتر از هر چیز دیگری منعکس میکند. به جای اینکه فوتونها به سمتهای اشتباه بروند، طلا آنها را مستقیماً روی ویفر هدایت میکند.
بهترین نکته این است که میتوانید دمای مناسب را درست در جایی که نیاز دارید، به دست آورید، بدون اینکه مجبور باشید توان لامپ را افزایش دهید. همچنین، هزینه برق کمتر خواهد بود و ویفرها نیز سریعتر به دمای مورد نظر میرسند.
مقابله با گرما
مشکل اینجاست که وقتی انرژی زیادی تولید میشود، دما بسیار بالا میرود.
از آنجایی که پوشش طلا بسیار کارآمد است، باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما میتواند این گرما را کنترل کند. اگر بدنه لامپ به درستی تهویه نشود، این گرما در نهایت میتواند به سیستمهای درونی لامپ آسیب برساند.
همچنین از لولههای کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ در کارخانههای تولید ویفر، حتی یک ذره آلودگی میتواند همه چیز را خراب کند. ما تمام باقیماندههای آلی را از روی ویفرها پاک میکنیم، چون «تقریباً تمیز» کافی نیست.
استفاده صحیح از این لامپها
این لامپها برای جایگزینی ساده لامپهای معمولی IR طراحی شدهاند.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم فاصله کانونی لامپ میکنیم؛ میخواهیم مطمئن شویم که هیچ «نقطه سرد»ی روی ویفر وجود نداشته باشد. اگر متوجه شدید که گرمایش ناهموار است، نگران نشوید؛ معمولاً این مشکل به دلیل عدم تطابق بین عنصر گرمایشی و آینه است. تنظیمات ساده میتواند این مشکل را برطرف کند.
چند نکته مهم برای نصب:
*از کنترلکننده PID پایدار استفاده کنید. این کار از افزایش بیش از حد دما جلوگیری میکند.
*دستکش بپوشید. واقعاً! پوشش طلا از اثرات انگشتان دست متنفر است؛ روغنهای موجود در پوست میتوانند به سطح طلا آسیب برسانند و لکههای تیره دائمی ایجاد کنند.