دیگر اجازه ندهید ازن، تجهیزات شما را خراب کند!
وقتی که در کارخانههای تولید نیمههادی کار میکنید، آخرین چیزی که نیاز دارید، آلودگی است. شما باید فرآیندهای خشککردن و تثبیت را به گونهای انجام دهید که هیچ ردی بر روی ویفر باقی نماند و اتاق تمیز نیز آسیب نبیند.
در همین جاست که لامپهای مادون قرمز بدون ازن به کار میآیند.
اغلب لامپهای معمولی مادون قرمز، تشعشعاتی در محدوده ۱۸۵ تا ۲۵۴ نانومتر تولید میکنند. مشکل اینجاست که این تشعشعات با اکسیژن موجود در هوا واکنش داده و ازن تولید میکنند. در کارخانههای تولید نیمههادی، ازن مانند یک عامل خورنده عمل میکند؛ این عامل به آرامی قطعات تجهیزات شما را خراب میکند، بدون اینکه شما متوجه مشکل شوید.
راهحل این مشکل در واقع بسیار ساده است.
ما از غلافهای کوارتزی یا فیلترهای داخلی برای جلوگیری از تشعشعات UV استفاده میکنیم. با حذف تمام تشعشعاتی که زیر ۲۰۰ نانومتر هستند، میتوانیم این مواد شیمیایی را کاملاً از بین ببریم. در نتیجه، تنها انرژی حرارتی باقی میماند.
بهترین نکته این است که میتوانید چرخههای تثبیت با شدت بالا را انجام دهید، بدون اینکه نیاز به سیستمهای تهویه پیچیده و پرسروصدا داشته باشید. این کار باعث میشود کل اتاق تمیزتر به نظر برسد.
همچنین، این روش سریعتر نیز هست.
فکر کنید به یک فر معمولی؛ باید هوا را گرم کرد، و سپس هوا قطعات را گرم میکند. این روش کند است. اما روش مادون قرمز متفاوت است؛ انرژی مستقیماً به ماده منتقل میشود.
این روش کارآمدتر است؛ زمان لازم برای گرم کردن کاهش مییابد و چرخهها نیز کوتاهتر میشوند. علاوه بر این، میتوانیم این سیستمها را در بخشهای مختلف تقسیم کنیم؛ بنابراین نیازی نیست کل بورد را گرم کنیم، در حالی که فقط یک نقطه کوچک نیاز به گرما دارد.
اما مشکل اینجاست…
لامپهای مادون قرمز با شدت بالا، بسیار داغ میشوند؛ به ویژه در قسمت سر لامپ. اگرچه این روش سبز است، اما تجهیزات شما همچنان تحت فشار قرار میگیرند.
نمیتوانید از فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده آبی صرفهجویی کنید. اگر سیستم خنککننده شما ضعیف باشد، انتهای لامپها بیش از حد داغ شده و خیلی زود خراب میشوند. این روش، روش ناامیدکنندهای برای از دست دادن لامپهاست.
استفاده از لامپهای مادون قرمز بدون ازن، زندگی شما را آسانتر میکند. دیگر نیازی نیست نگران دستگاههای نظارت بر گازهای خطرناک باشید؛ همچنین میتوانید به الزامات «سازگار با محیط زیست» و «بدون سرب» عمل کنید، بدون اینکه نیاز به تلاش زیادی داشته باشید. این روش، کوتاهترین راه برای داشتن کارخانهای تمیزتر و بیصداتر است.