چرا ریفلکتورهای طلا واقعاً بر فرآیند خشک کردن ویفرها اهمیت دارند؟
هنگام خشک کردن ویفرها، شما صرفاً گرما را بیشتر نمیکنید؛ در واقع، شما در حال بازی کردن با فوتونها هستید.
بیشتر مردم از ریفلکتورهای آلومینیومی استفاده میکنند، زیرا قیمت پایینی دارند. اما مشکل اینجاست که آلومینیوم انرژی زیادی را جذب میکند؛ یعنی به جای بازتاب دادن گرما، آن را جذب میکند. ما از ریفلکتورهای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ زیرا آنها چنین رفتاری ندارند. تقریباً تمام انرژی مادون قرمز را دوباره به سمت ویفر بازتاب میدهند.
تفاوت طلا
طلا به دلایل خاصی، استاندارد مناسبی برای استفاده در فرآیندهای مربوط به موجهای بلند مادون قرمز است. آلومینیوم در مدت کوتاهی کار میکند، اما سپس اکسید میشود؛ کارایی آن نیز با گذشت زمان کاهش مییابد.
روش ما برای استفاده از لایه طلا، باعث میشود ریفلکتور در حالی که ویفر بسیار داغ میشود، سرد بماند. این روش باعث میشود که گرما به طور دقیق به ویفر منتقل شود؛ یعنی شما میدانید که گرما به مقصد رسیده است.
جلوگیری از وجود «نقاط سرد»
هیچ چیز بدتر از این نیست که ویفری را بردارید و متوجه نقاط سرد آن شوید؛ این موضوع باعث کاهش بازدهی فرآیند خشک کردن میشود.
ما این ریفلکتورها را به گونهای طراحی کردهایم که این نقاط سرد را از بین ببرند. با تنظیم انحنای سطح ریفلکتور، میتوانیم تمام انرژی مادون قرمز را در یک نقطه متمرکز کنیم. این کار باعث میشود که دمای لازم برای خشک کردن ویفر به سرعت حاصل شود. اگر از لامپهای با توان بالا بدون ریفلکتور دقیق استفاده کنید، در واقع در حال هدر دادن انرژی هستید.
مشکلات مربوط به استفاده از طلا
طلا ابزاری دقیق است؛ اما ممکن است کمی حساس باشد. طلا از آلودگی متنفر است.
اگر در محیط تمیزکاری، روغن یا مواد شیمیایی روی سطح ریفلکتور بریزد، بازتابندگی آن کاهش مییابد. لطفاً از مواد شوینده قوی برای تمیز کردن ریفلکتور استفاده نکنید؛ زیرا این کار باعث از بین رفتن لایه طلا میشود. باید با آن مراقبت کرد.
نصب ریفلکتورها
هنگام نصب ریفلکتورها، حتماً محل قرارگیری لامپ را بررسی کنید. اگر انحرافی در محل قرارگیری لامپ وجود داشته باشد، نقطه تمرکز گرما تغییر کرده و فرآیند خشک کردن ناهموار خواهد بود.
ما این ریفلکتورها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی نصب کرد؛ اما لطفاً فاصلههای مربوط به انبساط حرارتی را نیز بررسی کنید. شما نمیخواهید که ریفلکتور پس از مدت طولانی استفاده در محیطهای دارای گرمای بالا، تغییر شکل دهد.