חיממן באינפרא אדום תואם לשימוש בוואקום

בקו באורך 300 ממ, שינוי של חצי מעלה בזמן החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים, ולכן לבזבוז כמויות גדולות של חומר. זו הסיבה שיצרנו את...